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富泰微科學(xué)儀器（上海）有限公司
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產(chǎn)品型號(hào)
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地上海市
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更新時(shí)間：2024-06-17 12:03:42瀏覽次數(shù)：57次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 智能制造網(wǎng)產(chǎn)品介紹 優(yōu)異的高效分析性能 微型采樣方法已在半導(dǎo)體器件分析領(lǐng)域成為一款工具，它正迅速向更小制樣方向發(fā)展。僅用一小時(shí)左右即可獲得一個(gè)微小樣品，以便于STEM分析，其定位精度可達(dá)到0.1 µm以下。
產(chǎn)品介紹：
優(yōu)異的高效分析性能
微型采樣方法已在半導(dǎo)體器件分析領(lǐng)域成為一款工具，它正迅速向更小制樣方向發(fā)展。僅用一小時(shí)左右即可獲得一個(gè)微小樣品，以便于STEM分析，其定位精度可達(dá)到0.1 µm以下。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
聚焦離子束(FIB)微采樣裝置和聚焦離子束(FIB)微采樣方法
聚焦離子束(FIB)微柱狀制樣實(shí)例
一個(gè)微柱狀樣品，包含一個(gè)直接從半導(dǎo)體器件上準(zhǔn)確地切割下來(lái)的分析點(diǎn)。改變?nèi)肷渚劢闺x子束(FIB)的方向，把微樣品切割或加工成任意形狀。
系統(tǒng)配置實(shí)例：
聚焦離子束-掃描透射電子顯微鏡系統(tǒng)
新開(kāi)發(fā)的半導(dǎo)體裝置評(píng)估系統(tǒng)由FB2200聚焦離子束(FIB)系統(tǒng)和HD-2700 200 kV(STEM)掃描透射電子顯微鏡構(gòu)成。從對(duì)材料缺陷(組織)的搜索到亞納米薄膜高精度結(jié)構(gòu)分析，只要幾小時(shí)即可完成。
聚焦離子束-透射電子顯微鏡(掃描透射電子顯微鏡)(FIB-TEM(STEM))的樣品桿可互換共用
觀察事例：
DRAM 觀察實(shí)例
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