日立超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡SU8600系列

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更新時間：2023-06-07 08:25:33瀏覽次數(shù)：518次

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富泰微科學儀器（上海）有限公司

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品介紹隨著快速數(shù)據(jù)采集和數(shù)據(jù)處理技術的發(fā)展，電子顯微鏡進入了一個不僅重視數(shù)據(jù)質量，而且重視其采集過程的時代。SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高質量圖像、大束流分析及長時間穩(wěn)定運行的冷場成像技術，同時還大大提升了高通量、自動數(shù)據(jù)獲取能力。

詳細介紹

超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡 SU8600系列.jpg

隨著快速數(shù)據(jù)采集和數(shù)據(jù)處理技術的發(fā)展，電子顯微鏡進入了一個不僅重視數(shù)據(jù)質量，而且重視其采集過程的時代。SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高質量圖像、大束流分析及長時間穩(wěn)定運行的冷場成像技術，同時還大大提升了高通量、自動數(shù)據(jù)獲取能力。

* 設備照片包含選配項。

產(chǎn)品特點：

超高分辨成像

日立的高亮度電子源可保證了即使在超低著陸電壓下，也可獲得超高分辨的圖像。

0.8 kV電壓條件下觀察RHO型沸石的實例。左圖為顆粒整體的形貌,右圖為放大圖像，顆粒表面細微的臺階結構清晰可見。低電壓觀察對于減少電子束損傷和獲取表面形狀信息較為有效。

高襯度的低加速電壓背散射圖像

3D NAND截面觀察;

在低加速電壓條件下，背散射電子信號能夠明顯的顯示出氧化硅層和氮化硅層的襯度差別。

3D NAND截面觀察（加速電壓：1.5kV）

快速BSE圖像：新型閃爍體背散射電子探測器(OCD)*

由于使用了新型的OCD探測器，即使掃描時間不到1秒，也仍然可以觀察到Fin-FET清晰的深層結構圖像.

5納米制程SRAM的內(nèi)部結構觀察（加速電壓：30kV，掃描時間<1秒）

*的自動化功能*

EM Flow Creator 允許客戶創(chuàng)建連續(xù)圖像采集的自動化工作流程。EM Flow Creator將不同的SEM功能定義為圖形化的模塊，如設置放大倍率、移動樣品位置、調節(jié)焦距和明暗對比度等。用戶可以通過簡單的鼠標拖拽，將這些模塊按邏輯順序組成一個工作程序。經(jīng)過調試和確認后，該程序便可以在每次調用時自動獲得高質量、重現(xiàn)性好的圖像數(shù)據(jù)。

靈活的用戶界面

原生支持雙顯示器，提供靈活、高效的操作空間。6通道同時顯示與保存，實現(xiàn)快速的多信號觀測與采集。

1,2,4 或6通道信號可在同一個顯示器上同時顯示，可切換內(nèi)容包括SEM各探測器以及樣品室相機和導航相機。可以通過使用兩個顯示器來擴展工作空間，可定制的用戶界面以提高工作效率。

產(chǎn)品規(guī)格：

機型		SU8600系列
電子光學系統(tǒng)	二次電子像分辨率	0.6 nm@15 kV
	二次電子像分辨率	0.7 nm@1 kV *
	放大倍率	20 to 2,000,000 x
	電子槍	冷場發(fā)射電子源，支持柔性閃爍功能，包含陽極烘烤系統(tǒng)。
	加速電壓	0.5 to 30 kV
	著陸電壓*	0.01 to 20 kV
探測器	（部分為選配項）	上探測器（UD）
		UD ExB能量過濾器，包含SE/BSE信號混合功能
		下探測器（LD）
		頂探測器（TD）
		TD能量過濾器
		鏡筒內(nèi)背散射電子探測器（IMD）
		半導體式背散射電子探測器（PD-BSED）
		新型閃爍體式背散射電子探測器（OCD）
		陰極熒光探測器（CLD）
		掃描透射探測器（STEM Detector）
附件	（部分為選配項）	導航相機、樣品室相機、X射線能譜儀（EDS）、背散射電子衍射探測器（EBSD）
軟件	（部分為選配項）	EM Flow Creater、HD Capture( 40,960×30,720 像素）
樣品臺	馬達驅動軸	5軸馬達驅動（X/Y/R/Z/T）
	馬達驅動軸	X：0~110 mm
		Y：0~110 mm
		Z：1.5~40 mm
		T：-5~70°
		R：360°
樣品室	樣品尺寸	直徑：150 mm