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      行業(yè)產(chǎn)品

      • 行業(yè)產(chǎn)品

      柯岷國際貿(mào)易(上海)有限公司


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      高性能聚焦離子束系統(tǒng) MI4050

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      參  考  價面議
      具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

      產(chǎn)品型號

      品       牌

      廠商性質(zhì)其他

      所  在  地上海市

      聯(lián)系方式:宋先生查看聯(lián)系方式

      更新時間:2024-06-18 10:21:30瀏覽次數(shù):115次

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      產(chǎn)品簡介

      MI4050是具有以下特征的高性能聚焦離子束系統(tǒng):新型電子光學(xué)系統(tǒng),可達(dá)到高水準(zhǔn)的SIM像分辨率?大束流使加工速度得以提升?提高了低加速電壓的分辨率,使得高品質(zhì)TEM樣品制備成為可能可用于截面加工觀察,高品質(zhì)TEM樣品制備,電路修復(fù),Vector Scan加工,微納米級微細(xì)圖形及磨具加工,利用沉積功能制作3維構(gòu)造等眾多樣品加工應(yīng)用。

      詳細(xì)介紹

      ◆ 大探針電流90nA,實現(xiàn)快速加工和大面積加工

      日立掃描電子顯微鏡

      焊線的截面加工

      (加工尺寸 寬:95µm 深:55µm, 加工時間 20min)


      ◆ 通過提高極低加速電壓(0.5kV~)加工及低加速電壓二次電子圖像分辨率,實現(xiàn)制備損傷率更低的TEM樣品

      *1kV以下為選配


      ◆ 可觀察高分辨率SIM成像(二次電子成像分辨率高達(dá)4nm@30kV)

      日立掃描電子顯微鏡     日立掃描電子顯微鏡

              正常部位                彎折部位

                      鋁罐的截面SIM圖像


      ◆ 采用高精度5軸電動機械優(yōu)中心馬達(dá)臺

      可在樣品臺移動(包括傾斜)時自動對多個部位進(jìn)行多種加工。


      ◆ *的操作性能和多種多樣的加工模式

      image.png截面制備程序加工

      image.pngTEM/STEM樣品程序加工

      image.png自動連續(xù)加工

      image.pngTEM樣品自動連續(xù)精加工軟件

      image.png位圖加工

      image.pngVector Scan加工

      image.png制備納米精度三維結(jié)構(gòu)樣品 其他

      日立掃描電子顯微鏡

      懸空納米導(dǎo)線制作

      樣品來源:兵庫縣立大學(xué) 松井真二 先生


      ◆ SIM像三維重構(gòu)分析

      等間隔截面加工與截面觀察的往復(fù)進(jìn)行,可取的多張截面連續(xù)SIM像,并進(jìn)行3維重構(gòu)。由此可判斷樣品中顆粒,孔洞等3維分布狀態(tài)。

      日立掃描電子顯微鏡     日立掃描電子顯微鏡

                                                                          半導(dǎo)體封裝材料中的填料分布分析示例


      ◆ 使用多路氣體系統(tǒng)(MGS-II)修復(fù)電路

      該系統(tǒng)可對應(yīng)保護(hù)膜材料、配線材料、絕緣膜、加速蝕刻等多種用途,照射多種氣體。

      image.png 鎢沉積氣體

      image.png 鉑沉積氣體

      image.png 絕緣膜制備用沉積氣體

      image.png 氟化氙蝕刻氣體

      image.png 有機類蝕刻氣體

      image.png 碳沉積氣體

      日立掃描電子顯微鏡

      使用XeF2氣體實現(xiàn)的大深徑比孔加工

      以及采用鎢沉積引線


      ◆ 豐富多樣的坐標(biāo)鏈接功能

      日立公司的坐標(biāo)鏈接功能豐富多樣,可確定正確的加工位置和大幅縮短時間。

      image.png 光鏡圖像與SIM像的鏈接

      image.png 雙光標(biāo)功能

      image.png 日本zhuanli第4634134號 美國zhuanli第7595488號

      image.png 與缺陷檢測設(shè)備建立坐標(biāo)鏈接

      image.png 已截斷的晶元或芯片也可與缺陷檢測設(shè)備建立坐標(biāo)鏈接。

      image.png CAD聯(lián)用導(dǎo)航軟件


      日立掃描電子顯微鏡

      image.png 4通道供氣系統(tǒng)

      image.png 自動連續(xù)加工軟件

      image.png TEM樣品自動加工軟件

      image.png 控制器顯微鏡 其他

      *:可選擇其他MI系列的各種選配件。


      關(guān)鍵詞:控制器 顯微鏡

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