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東莞燕園半導體科技有限公司
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產品型號YYZKTGL
品 牌
廠商性質其他
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更新時間:2023-04-20 10:49:46瀏覽次數(shù):230次
聯(lián)系我時,請告知來自 智能制造網簡單介紹 本款真空碳管爐是用高純石墨作發(fā)熱元件的立式真空電阻爐,供金屬化合物、陶瓷、無機化合物、納米材料等在真空或保護氣氛中燒結制品。
技術參數(shù) 1.1額定功率: 50KW 2.2額定電壓: 三相,380V 2.3加熱器電壓: 0-30V(單相) 2.4額定溫度: 2300℃ 2.5工作區(qū)尺寸: Φ90×120(mm) 2.6冷態(tài)極限真空度: 6.67x10-3Pa 2.7冷卻水水壓: 0.2~0.4Mpa 2.8冷卻水要求: 水質按GB10067.1-88國標,總硬度CaO<10 2.9使用要求:海拔1000M以下、環(huán)境溫度0-45度、濕度15%-85% 2.10保護氣氛:1800-2200度高純氬或高純氮,2200度以上露點—60度的高純氬 結構簡介 3.1爐體 為立式爐殼,其內層為1Cr18Ni9做成的圓筒,外殼為碳鋼經防銹處理。兩層之間形成夾套可以通水冷卻,將傳到爐殼內壁上的熱量帶走。內外筒與上下法蘭焊成一個整體,中間開有抽氣孔、觀察孔、熱電偶孔等。 3.2爐體上部是爐蓋,它是有內外封頭和法蘭焊成,中間可通水冷卻爐蓋,裝有鎖緊裝置,松開鎖緊,爐蓋自動向后打開,手動推到*大后即可裝卸工件。 3.3爐底部分也是有內外封頭和法蘭組成,中間通水冷卻,固定在爐體下部,有電極引入,電極通水冷卻。 3.4爐內隔熱屏由石墨碳氈組成,*內層為石墨發(fā)熱體,底部隔熱屏由石墨組成。 3.5真空系統(tǒng) 它是由2X-30雙級機械泵及真空閥等組成,真空閥門為手動大蝶閥及手動蝶閥,真空度測量由數(shù)顯復合真空計執(zhí)行。有關真空計的使用請參照真空計使用說明書,注意使用一段時間后,熱偶規(guī)管會老化,其工作電流需重新標定,標定方法主要為高真空校低真空法。即當電離真空度小于3×10-2Pa時,低真空規(guī)管(熱偶管)的指針應指向0.1Pa以上,否則應調整其工作電流了。 3.6電氣系統(tǒng) 調壓控制柜上可控硅調壓裝置由旋動手動調節(jié),也可自動控制,380V三相電源經過降壓變壓器,電壓降到30V,然后經過電纜再送到電極上。 3.7水冷系統(tǒng) 冷卻水由總管進入,經過各支管送到爐殼、爐蓋、爐底、電極、擴散泵和機械泵等需要冷卻的地方,然后匯總到水箱排出。每路冷卻水都有手動閥門,可以按照需要調節(jié)流量大小。進水管上設有電接點壓力表,當水壓低于0.1Mp時,可自動切斷加熱器。
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