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上海維翰光電科技有限公司
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更新時(shí)間:2022-11-14 10:51:52瀏覽次數(shù):398次
聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來(lái)自 智能制造網(wǎng)產(chǎn)品說(shuō)明: 原子分辨率300 kV透射電子顯微鏡 在精細(xì)加工技術(shù)已進(jìn)入到亞納米級(jí)水平的半導(dǎo)體,*材料的研發(fā)領(lǐng)域,原子分辨率電子顯微鏡正在成為日益重要的,的工具。 為...
原子分辨率300 kV透射電子顯微鏡 在精細(xì)加工技術(shù)已進(jìn)入到亞納米級(jí)水平的半導(dǎo)體,*材料的研發(fā)領(lǐng)域,原子分辨率電子顯微鏡正在成為日益重要的,的工具。 為了滿足這種需求,日立公司研發(fā)出了透射電子顯微鏡 H-9500,此款高分辨透射電子顯微鏡不僅具備實(shí)地驗(yàn)證過(guò)的各種優(yōu)*性能,而且配置了很多滿足客戶多種需求的獨(dú)*功能,并采用了新的數(shù)字技術(shù),便于用戶及時(shí)快速獲取原子水平的樣品結(jié)構(gòu)信
項(xiàng)目 | 說(shuō)明 | |
---|---|---|
分辨率 | 0.10nm(晶格分辨率) 0.18nm(點(diǎn)分辨率) | |
加速電壓 | 300kV、200kV*1、100kV*1 | |
放大倍率 | 連續(xù)放大模式 | 1,000~1,500,000× |
選區(qū)模式 | 4,000~500,000× | |
低倍模式 | 200~500× | |
電子槍 | 燈絲 | LaB6(六硼化鑭燈絲,直流加熱) |
燈絲交換 | 自動(dòng)升降式電子槍 | |
高壓電纜 | 阻抗電纜 | |
照射系統(tǒng) | 透鏡 | 四級(jí)透鏡 |
聚光鏡光闌 | 4孔可變 | |
探針尺寸 | 微米束模式:0.05 - 0.2 µm(4級(jí)) 納米束模式:1 - 10 nm(4級(jí)) | |
電子束傾斜 | ±3° | |
成像系統(tǒng) | 透鏡 | 五級(jí)透鏡 |
聚焦 | 圖像搖擺調(diào)整 利用像散監(jiān)視器進(jìn)行正焦補(bǔ)償 聚焦優(yōu)化 | |
物鏡光闌 | 4孔可變光闌 | |
選區(qū)光闌 | 4孔可變光闌 | |
電子衍射 | 選區(qū)電子衍射 納米探針電子衍射 會(huì)聚束電子衍射 | |
相機(jī)長(zhǎng)度 | 250 - 3,000 mm | |
樣品室 | 樣品臺(tái) | 5軸優(yōu)中心海帕測(cè)角臺(tái) |
樣品尺寸 | 3mmΦ | |
樣品位置追蹤 | X/Y = ±1mm, Z = ±0.3 mm 通過(guò)CPU控制馬達(dá)驅(qū)動(dòng) | |
樣品位置顯示 | 自動(dòng)驅(qū)動(dòng),自動(dòng)跟蹤 | |
樣品傾斜 | α = ±15°, β = ±15° (日立雙傾樣品臺(tái)*2) | |
防污染 | 冷阱 | |
烘烤功能 | 中溫烘烤功能 | |
觀察室 | 熒光屏 | 主屏:110 mmΦ 聚焦屏:30 mmΦ |
目鏡 | 7.5× | |
照相室 | 區(qū)域選擇 | 整張照相/半張曝光 |
膠片 | 25張(2套膠片盒) | |
圖形用戶界面 | 操作系統(tǒng):Windows XP® | |
顯示器 | 19英寸顯示器 | |
功能 | 數(shù)據(jù)庫(kù),測(cè)量,圖像處理 | |
數(shù)碼CCD 相機(jī)*3 | 相機(jī)耦合 | 透鏡耦合 |
有x像素 | 1,024 × 1,024 像素 | |
A/D 分辨率 | 12位 | |
真空系統(tǒng) | 電子槍 | 離子泵:60 L/s |
鏡筒 | 渦輪分子泵:260 L/s | |
觀察室/照相室 | 擴(kuò)散泵:280 L/s 前級(jí)泵:135 L/min × 3臺(tái) |
*2:可選件
*3:本規(guī)格適用于可選的1,024 × 1,024像素的數(shù)碼CCD相機(jī)以上規(guī)格是在加速電壓為300 kV時(shí)的*諾
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