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東莞市晟鼎精密儀器有限公司
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| 參 考 價 | 面議 |
產品型號
品 牌
廠商性質其他
所 在 地東莞市
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更新時間：2024-03-18 17:58:09瀏覽次數(shù)：150次
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RTEPLASMA等離子去膠機適用于硅基材料的晶圓表面去膠的清洗設備，也可用于光刻膠去除，碳化硅刻蝕，硬掩膜層干法清除，刻蝕后表面清潔，氧化硅或氮化硅刻蝕
RTE PLASMA等離子去膠機適用于硅基材料的晶圓表面去膠的清洗設備，也可用于光刻膠去除，碳化硅刻蝕，硬掩膜層干法清除，刻蝕后表面清潔，氧化硅或氮化硅刻蝕。
碳化硅刻蝕
硬掩膜層干法清除
表面殘留物清除
氧化硅或氮化硅刻蝕
刻蝕后表面清潔
| 自動化程度 | 手動 |
| PLASMA電源 | RF |
| 尺寸（L*W*H） | 850*900*1850mm |
| 適用范圍 | 4-8寸 |
| 單次處理片數(shù) | 1 |
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