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東莞市晟鼎精密儀器有限公司
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更新時(shí)間:2024-03-18 17:56:46瀏覽次數(shù):118次
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ST-3100等離子去膠機(jī)采用高密度低損傷等離子源設(shè)計(jì),采用獨(dú)立腔室結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)均勻的流暢分布,去膠均勻性表現(xiàn)優(yōu)異
ST-3100等離子去膠機(jī)采用高密度低損傷等離子源設(shè)計(jì),采用獨(dú)立腔室結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)均勻的流暢分布,去膠均勻性表現(xiàn)優(yōu)異。
離子注入后光阻去除
表面殘留物清除
刻蝕后表面清潔
聚合物去除
BAW/SAW工藝中的光阻去除
型號(hào) | ST3100 ST3200 |
PLASMA電源 | RF RF |
尺寸(L*W*H) | 1300*1190*1847mm 1300*1650*1850mm |
適用范圍 | 4-8寸 4-8寸 |
單次處理片數(shù) | 1 2 |
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