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埃德比光子科技(中國)有限公司
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更新時間:2022-11-03 10:23:38瀏覽次數(shù):214次
聯(lián)系我時,請告知來自 智能制造網(wǎng)? 光 闌:f/50 ? 光譜解析能力:2.5 Mio.-10 Mio. (λ/?λFWHM) ? 波長范圍:157-1,100 nm (λmax range) ? 同步探測范圍:8-400 pm (λsimul) ? 波 長 范 圍:190-550 ......
ELIAS-I/-LD
發(fā)射譜線分析光譜儀系列
高分辨率的中階梯光柵光譜儀
的中階梯光柵光譜儀,在利特羅(Littrow)結(jié)構(gòu)中擁有的光譜解析能力-用于高分辨率的發(fā)射和吸收譜線的分析,尤其是準(zhǔn)分子激光光刻技術(shù)。
· Intensity dynamics of up to 4 orders
· 光譜解析能力 (2.5 million-10 million)
· 成像質(zhì)量
· 簡單沒有失誤的操作控制
· Motorized optomechanics
ELIAS的超高分辨率得益于超大中階梯光柵的應(yīng)用及與之匹配的光路設(shè)計——中階梯光柵通過非常高的衍射級次可獲得的理論分辨率(femtometer level);LTB的工程師通過兩個方面的設(shè)計實現(xiàn)超大中階梯光柵的理論分辨率:
· 逼近衍射極限的消色差成像光路
· 足夠高的線色散來確保以5~10個像素(CCD)來解析光譜譜線的半高寬;
ELIAS利用寬達(dá)360mm的超大中階梯光柵(Echelle grating)以利特羅(Littow)自準(zhǔn)直結(jié)構(gòu)構(gòu)成光路;ELIAS不同于靠干涉方式測量光譜的分析設(shè)備,ELIAS的中階梯光柵的高衍射級次及高級次等效于零級的衍射能量分布,可通過CCD實現(xiàn)寬光譜直拍,因此ELIAS非常適合脈沖激光光譜的分析應(yīng)用(通過外部TTL觸發(fā)可協(xié)同激光器工作)。ELIAS可以配置背照型科學(xué)級CCD作為探測器可獲得非常理想的信噪比(104)
規(guī)格參數(shù)(Specifications)
可探測信號模式 | CW/Pulsed |
可探測光譜范圍 | 190~1100nm(157nm possible) |
光譜解析能力(λ/?λ) | 8,800,000 |
光譜分辨率 | 22fm@193nm |
光譜精度 | 0.1pm |
光譜窗口 | >0.8nm |
可探測脈沖能量 | <10μJ |
信號輸入模式 | Fiber,SMA,Mirror,F(xiàn)ree Space |
校準(zhǔn)方式 | full auto/Manual;Hg(Neon)Lamp |
觸發(fā)模式 | TTL+5V |
工作環(huán)境要求 | 溫度:10~30℃;濕度:<65% |
ELIAS I : ELIAS 系列的標(biāo)準(zhǔn)版
ELIAS LD : ELIAS 系列的低色散型號,that does not resolve the halfwidths of the lines with 5 to 10 pixels but instead the free spectral range could be trebled without considerably decreasing the spectral resolving capability compared to ELIAS I
Model | ELIAS I | ELIAS-LD | ||
---|---|---|---|---|
Pass | single | double | single | double |
Wavelength [nm] | λsimul [pm] | λsimul [pm] | λsimul [pm] | λsimul [pm] |
157 | 45 | 14 | 152 | 49 |
193 | 48 | 15 | 170 | 52 |
248 | 64 | 20 | 227 | 71 |
266 | 73 | 25 | 275 | 92 |
532 | 146 | 49 | 551 | 185 |
766 | 244 | 82 | 846 | 293 |
1,064 | 292 | 98 | – | 626 |
Wavelength [nm] | FWHM [pm] | FWHM [pm] | FWHM [pm] | FWHM [pm] |
157 | 0.254 | 0.083 | 0.31 | 0.10 |
193 | 0.283 | 0.086 | 0.34 | 0.11 |
248 | 0.376 | 0.117 | 0.46 | 0.15 |
266 | 0.428 | 0.147 | 0.55 | 0.19 |
532 | 0.856 | 0.294 | 1.10 | 0.37 |
766 | 1.400 | 0.482 | 1.70 | 0.59 |
1,064 | 1.711 | 0.588 | – | 1.25 |
應(yīng)用領(lǐng)域(Application)
· 激光誘導(dǎo)擊穿光譜(LIBS)
· 準(zhǔn)分子激光光刻技術(shù)
· 測量二極管激光器的光譜、時間穩(wěn)定度和固態(tài)激光器的發(fā)射譜線
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