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凱戈納斯儀器商貿(mào)（上海）有限公司
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| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號RTA
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地
聯(lián)系方式：Vicky查看聯(lián)系方式
更新時間：2023-11-16 08:04:40瀏覽次數(shù)：135次
聯(lián)系我時，請告知來自 智能制造網(wǎng)RTA系列快速熱退火爐
RTA系列快速熱退火爐
RTA系列可處理2~12 英寸（50~300mm）的樣品，10s內(nèi)即可到設置的退火溫度。
該爐體采用水冷壁的結(jié)構，結(jié)合紅外加熱的高能量密度，近紅外的波長快速升溫特點，搭配高精度，快速響應的溫控器進行精確溫度控制。
RTA系統(tǒng)可滿足用戶對于工藝配方的控制（溫度控制，升降溫速率控制，氣氛及氣體流量控制等）。RTA系統(tǒng)有助于找到的熱處理方式
| 應用 |  |
| · 離子注入后的活化退火 | |
| · 沉積氧化膜的退火 | |
| · 歐姆電極合金化 | |
| · PZT，SBT和其它鐵電薄膜的結(jié)晶退火 | |
| · 硅化物及自對準硅化物的生成 |  |
| · 發(fā)光元件，半導體激光基板的熱處理 | |
| · 超淺結(jié)的生成 | |
| · 鐵電電容器沉積 | |
| · 柵氧化膜的生成 |
特點：
· 升溫速率可達200℃/s
· 可搭配自動傳樣機器人
· 可連接半導體制造設備
· 各個加熱區(qū)的燈管功率單獨可控，可以對不同尺寸的樣品實現(xiàn)均勻加熱
參數(shù)：
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