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凱戈納斯儀器商貿(mào)（上海）有限公司
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| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號RTP-6
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地
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更新時間：2023-11-14 08:15:12瀏覽次數(shù)：142次
聯(lián)系我時，請告知來自 智能制造網(wǎng)RTP-6經(jīng)濟型快速退火爐
RTP-6經(jīng)濟型快速退火爐
RTP-6升溫速率可達80℃/s。
RTP-6采用拋物線形的黃金反射面，可均勻熱處理6英寸的圓晶。該系統(tǒng)可進行快速的熱處理，適合熱處理工藝的研究與開發(fā)?？捎糜诎雽?dǎo)體工藝中硅化物的形成以及半導(dǎo)體化合物的過程退火。
應(yīng)用：
| 1. 離子注入后的活化退火 |  |
| 2. 沉積氧化膜的退火 | |
| 3. 歐姆電極合金化 | |
| 4. PZT，SBT和其它鐵電薄膜的結(jié)晶退火 | |
| 5. 硅化物及自對準(zhǔn)硅化物的生成 | |
| 6. 發(fā)光元件，半導(dǎo)體激光基板的熱處理 | |
| 7. 超淺結(jié)的生成 | |
| 8. 鐵電電容器沉積 | |
| 9. 柵氧化膜的生成 |
 | 特點： |
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組成：
| 1. 紅外金面反射爐 |  |
| 2. 加熱腔 | |
| 3. 可編程溫控器 | |
| 4. 9個獨立的加熱區(qū) | |
| 5. 跨度變換單元 | |
| 6. 氣體管路系統(tǒng) | |
| 7. 熱氣排出系統(tǒng) | |
| 8. 爐體框架，開關(guān)板 | |
| 9. 高溫計（可選） | |
| 10. 水冷機（可選） | |
| 11. 真空泵（可選） |
參數(shù)：
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