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凱戈納斯儀器商貿(mào)(上海)有限公司
參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號MILA-5000Series
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地
聯(lián)系方式:Vicky查看聯(lián)系方式
更新時間:2023-03-01 12:30:29瀏覽次數(shù):234次
聯(lián)系我時,請告知來自 智能制造網(wǎng)小型快速熱退火爐已經(jīng)成為半導(dǎo)體、鐵電體以及鍍膜行業(yè)的重要退火技術(shù)。但是目前,只有大型的、昂貴的生產(chǎn)設(shè)備才能完成快速熱處理,這大大降低了研發(fā)工作的效率(尤其是小的樣品)。為了滿足市場的需求,ADVANCE RIKO研發(fā)出MILA-5000系列的小型快速退火爐。此系列的設(shè)備包含紅外金面反射爐和高精度的溫度控制器。根據(jù)需求選配相應(yīng)的泵和氣體接口,MILA能提供與大型RTP設(shè)備相同的熱處理性能。
型號 | MILA-5000Series |
溫度范圍: | 室溫~1200℃(*高) |
*大加熱功率: | 50℃/s(50~1200℃)真空 45℃/s(50~1200℃)氮氣氛圍 |
溫度均勻性: | ±2.0℃(ΔT=4℃)1200℃真空 ±4.5℃(ΔT=9℃)1200℃氮氣氛圍 |
加熱氣氛: | 大氣、真空、惰性氣氛環(huán)境下 |
試樣尺寸: | MAX:50 square or φ 50 x T5 (mm) |
程序模組: | 溫度VS時間設(shè)定、Step數(shù)256、Program數(shù)32(*大); PID+Fuzzy控制、自動微調(diào)、USB通訊、自動/手動切換; |
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