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      行業(yè)產(chǎn)品
      
							
						
      
						
        
							
      • 行業(yè)產(chǎn)品
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      深圳市科晶智達(dá)科技有限公司
                                
                
                
      

							
      
                        			
      
		
      
	
      
	
	
      
		
      
            
      
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      GSL-1100X-PJF-A 可自動掃描等離子表面處理儀
      
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      參  考  價(jià)面議  
      
					                    
      具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      
				
      
				
				
      
						
      
							
      產(chǎn)品型號
      
							
      品       牌
      
		                    
      廠商性質(zhì)其他
      
		                    							
      所  在  地
      
						
      
                        
                    
      
					 							        										
      聯(lián)系方式：廖勝眉查看聯(lián)系方式
      
									                                                 
      
						
      
							
      
								更新時(shí)間：2022-10-13 12:42:56瀏覽次數(shù)：183次
							
      
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                    產(chǎn)品簡介
                
      
				
      
                      
      
                                                                      
      
					
      GSL-1100X-PJF-A是等離子槍和可控制的樣品臺結(jié)合在一起的產(chǎn)品，有自動控制的樣品臺，就可使等離子槍按設(shè)定程序?qū)悠繁砻孢M(jìn)行更均勻涂覆和處理，保證處理樣品表面的一致性和均勻性
      
				
      
				
      
                    詳細(xì)介紹
                
      
			    
      
			        
      
			                     
        
              GSL-1100X-PJF-A是等離子槍和可控制的樣品臺結(jié)合在一起的產(chǎn)品，有自動控制的樣品臺，就可使等離子槍按設(shè)定程序?qū)悠繁砻孢M(jìn)行更均勻涂覆和處理，保證處理樣品表面的一致性和均勻性。此系統(tǒng)是由RF發(fā)生器、氣體傳輸管、等離子槍頭和X-Y移動的工作臺（帶有真空吸盤和控制盒）。此系統(tǒng)產(chǎn)生等離子束可在非真空和低溫狀態(tài)下活化和清洗樣品表面，可處理的樣品有單晶片，光學(xué)元件和塑料等，也可在常壓下進(jìn)行等離子增強(qiáng)氣相沉積。  
       
        
         性能指標(biāo)和基本配置  
       
        主要參數(shù)   
       ● 工作環(huán)境：溫度 < 42°C，濕度  ≤ 40℃RH
       ● 輸入電源：208 V- 240VAC, 50Hz, < 1000W
       ● 等離子體工作壓力 
             		 
       
        RF發(fā)生器   
       ● 輸出頻率：20-23kHz , 25KV
       ● 等離子槍頭：儀器中包括兩種等離子槍頭：圓形頭：10-12mm，矩形頭：15-18mm
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        輸入氣體氣壓，工作氣體   
       ● 40 PSI min.(0.055 Mpa)
       ● Air, N2, Ar, He 或混合氣體(不可通入易燃易爆氣體 ) 
             		 
       
        樣品臺和控制柜   
       ● 配有可在X-Y軸移動的樣品臺，通過步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動，采用SBC控制盒控制 
       ● 可手動調(diào)節(jié)樣品臺在Z軸方向上的移動距離 
       ● 控制盒采用LCD顯示，可設(shè)置其等離子槍頭的掃描程序。 
       ● 掃描范圍：8" x 9"
       ● 一個(gè)直徑為4"的真空吸盤安裝在X-Y樣品臺上，可吸住直徑為6"的樣品。 
       ● 配有一真空泵，可與真空吸盤相連接 
       ● 整個(gè)系統(tǒng)安裝在一移動架上（600x600x 800Lmm） 
       ● 可選：可選加熱樣品臺（溫度可加熱到500℃),也可將設(shè)備放置在手套箱中操作。
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        外形尺寸   
       處理樣品臺尺寸：560mm L x483mm W x 609mm H
       等離子源尺寸: 406mm L x  508mm W x 230mm H 
       控制盒尺寸：330mm L x 305mm W x 152mm H 
             		 
       
        凈重   
       55kg 
             		 
       
        文獻(xiàn)   
       請點(diǎn)擊鏈接以了解更多關(guān)于AP-PECVD應(yīng)用的信息：常壓等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（AP-PE-CVD）用于在低溫下生長薄膜。  
             		 
       
        質(zhì)量認(rèn)證   
       所有電器元件（>24V）都通過UL/MET/CSA/CE認(rèn)證，若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。
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        保修期   一年保修，終身技術(shù)支持。
       特別提示：
       1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。
       2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
       點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。
             		 
              
         
          
          暫無內(nèi)容 
          
             暫無內(nèi)容     
           
			        
      
			    
      
                			    
                                                				
      
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