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      低溫等離子體表面處理儀
      
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								更新時(shí)間：2023-01-05 10:16:47瀏覽次數(shù)：317次
							
      
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      低溫等離子體表面處理儀主要由供氣控制單元，真空室，等離子發(fā)生器，真空泵，等幾部分組成，通過(guò)電容式耦合射頻輝光放電的方式產(chǎn)生低溫等離子體
      
				
      
				
      
                    詳細(xì)介紹
                
      
			    
      
			        
      
			                         
                    低溫等離子體表面處理儀主要由供氣控制單元，真空室，等離子發(fā)生器，真空泵，等幾部分組成，通過(guò)電容式耦合射頻輝光放電的方式產(chǎn)生低溫等離子體。等離子體中含有豐富的離子、電子、自由基等活性粒子，可以對(duì)材料表面產(chǎn)生多種效應(yīng)。在刻蝕和清潔作用的同時(shí)，等離子體中的活性粒子將羧基(-COOH)、羥基(-OH)等含氧功能基團(tuán)引入材料表面，增強(qiáng)材料表面的活性位點(diǎn)，提升材料的表面能，實(shí)現(xiàn)材料的表面活化。
               
       低溫等離子體表面處理儀工作流程：
       
       設(shè)定低溫等離子體處理儀參數(shù)→樣品放入處理腔正極板上→打開(kāi)真空泵→待真空度降至100Pa以下→開(kāi)啟放電電源→處理完畢取出樣品
       
       低溫等離子體表面處理儀真空室處理腔原理圖如圖1.1所示 
        低溫等離子體表面處理儀真空處理腔原理圖
       圖1.1 低溫等離子體表面處理儀真空處理腔原理圖
        
       
       低溫等離子體表面處理原理：
       
       等離子體改性高分子材料時(shí)，主要是其中的活性粒子起作用。這些活性粒子在高分子材料表面產(chǎn)生許多復(fù)雜的作用，包括刻蝕、交聯(lián)、表面刻蝕、產(chǎn)生自由基、引入極性基團(tuán)等。
       
       極性基團(tuán)的引入
       在等離子體表面處理時(shí)，高分子表面會(huì)形成大量自由基，與大氣中的氧接觸后則會(huì)發(fā)生氧化作用，形成親水性的基團(tuán)。如羥基、羧基等，會(huì)使材料的親水性、粘結(jié)性得到改善，同時(shí)通過(guò)等離子體表面處理之后，聚合物表面的元素含量比例會(huì)發(fā)生比較明顯的變化。
       
       等離子處理后還可以在聚合物表面引入各種極性基團(tuán)，如NH3等離子體或N2和O2混合等離子體可以在高分子表面引入胺基、亞胺基或腈基等。
       
       表面交聯(lián)
       等離子體轟擊聚合物表面，可使聚合物表面產(chǎn)生自由基，正負(fù)電子，穩(wěn)態(tài)和亞穩(wěn)態(tài)的原子。其中電子、原子、自由基攻擊聚合物表面而移除聚合物表面的H原子而形成活性網(wǎng)點(diǎn)，聚合物表面的自由基活性點(diǎn)相互反應(yīng)而形成表面交聯(lián)。
       
       表面刻蝕
       在等離子體處理過(guò)程中，等離子體中的活性粒子會(huì)高速撞擊到材料的表面，并造成刻蝕作用，使材料表面變得凹凸不平，增加材料表面的粗糙度?？涛g主要分為兩種，物理濺射和化學(xué)刻蝕。
       
       低溫等離子體表面處理儀屬于干式處理設(shè)備，沒(méi)有化學(xué)改性中的烘干、廢水處理等工序，具有工藝簡(jiǎn)單、節(jié)約能源、綠色無(wú)污染等優(yōu)點(diǎn)。更重要的是，等離子體處理僅僅涉及材料淺表面，作用深度在納米級(jí)別，一般不會(huì)影響材料本身的整體性能。
                     
                   
                       
        
        型號(hào)  NE-PE10F低溫等離子體表面處理儀 
       
        射頻電源  13.56MHz 
       
        功率  0-300W可調(diào) 
       
        真空度  ＜30Pa 
       
        工藝氣體通道  兩路（標(biāo)配，可定制多路） 
       
        腔體尺寸  長(zhǎng)230mm×高175mm×深270mm 
       
        腔體材質(zhì)  不銹鋼 
       
        外形尺寸  長(zhǎng)600mm×寬530mm×高574mm 
              
       
                     
               
			        
      
			    
      
                			    
      關(guān)鍵詞：等離子發(fā)生器
      
                                                				
      
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