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      行業(yè)產(chǎn)品

      • 行業(yè)產(chǎn)品

      深圳市中圖儀器股份有限公司


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      3d輪廓光學(xué)掃描儀

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      具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

      產(chǎn)品型號(hào)SuperViewW1

      品       牌

      廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

      所  在  地深圳市

      聯(lián)系方式:深圳市中圖查看聯(lián)系方式

      更新時(shí)間:2022-10-18 11:37:26瀏覽次數(shù):390次

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      產(chǎn)品簡(jiǎn)介

      SuperViewW13d輪廓光學(xué)掃描儀可對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。

      詳細(xì)介紹

      中圖儀器SuperViewW13d輪廓光學(xué)掃描儀非接觸高精密測(cè)量方式,不會(huì)劃傷甚至破壞工件,且測(cè)量速度快,不必像探頭逐點(diǎn)進(jìn)行測(cè)量。它以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。測(cè)量各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。



      工作原理

      照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光,分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從這兩個(gè)表面反射的兩束光再次通過(guò)分光鏡后合成一束光,并由成像系統(tǒng)在CCD相機(jī)感光面形成兩個(gè)疊加的像。由于兩束光相互干涉,在CCD相機(jī)感光面會(huì)觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差,所以根據(jù)白光干涉條紋明暗度就可以解析出被測(cè)樣品的相對(duì)高度。



      SuperViewW1白光干涉儀,光學(xué)3D表面輪廓儀.jpg


      產(chǎn)品功能

      1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測(cè)量功能;

      2)測(cè)量中提供自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能;

      3)測(cè)量中提供自動(dòng)拼接測(cè)量、定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能;

      4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

      5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

      6)分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。


      應(yīng)用領(lǐng)域

      SuperViewW13d輪廓光學(xué)掃描儀可對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。


      關(guān)鍵詞:掃描儀 CCD

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