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      行業(yè)產(chǎn)品

      • 行業(yè)產(chǎn)品

      深圳市中圖儀器股份有限公司


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      白光干涉表面輪廓儀

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      參   考   價: 960000

      訂  貨  量: ≥1 臺

      具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

      產(chǎn)品型號SuperViewW1

      品       牌

      廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

      所  在  地深圳市

      聯(lián)系方式:深圳市中圖查看聯(lián)系方式

      更新時間:2023-09-27 17:00:27瀏覽次數(shù):805次

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      經(jīng)營模式:生產(chǎn)廠家

      商鋪產(chǎn)品:100條

      所在地區(qū):廣東深圳市

      聯(lián)系人:深圳市中圖 (經(jīng)理)

      產(chǎn)品簡介

      W系列白光干涉表面輪廓儀采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統(tǒng),保證測量精度高。其隔振系統(tǒng)能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動,消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲,保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用,獲得高測量重復(fù)性。

      詳細(xì)介紹

      中圖儀器W系列白光干涉表面輪廓儀基于白光干涉技術(shù)原理,結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等,能對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量,可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)。

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      產(chǎn)品功能

      (1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能;

      (2)測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能;

      (3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能;

      (4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

      (5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

      (6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

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      W系列白光干涉表面輪廓儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點,測量單個精細(xì)器件的過程用時短,確保了高款率檢測。特殊光源模式可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。


      應(yīng)用領(lǐng)域

      對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

      應(yīng)用范例:

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      除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外,W系列光學(xué)3D表面輪廓儀具有的測量晶圓翹曲度功能,非常適合晶圓,太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量,應(yīng)變測量以及表面形貌測量。

      結(jié)果組成:

      1、三維表面結(jié)構(gòu):粗糙度,波紋度,表面結(jié)構(gòu),缺陷分析,晶粒分析等;

      2、二維圖像分析:距離,半徑,斜坡,格子圖,輪廓線等;

      3、表界面測量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面;

      4、薄膜和厚膜的臺階高度測量;

      5、劃痕形貌,摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量;

      6、微電子表面分析和MEMS表征。


      部分技術(shù)指標(biāo)

      型號W1
      光源
      白光LED
      影像系統(tǒng)1024×1024
      干涉物鏡

      標(biāo)配:10×

      選配:2.5×;5×;20×;50×;100×

      光學(xué)ZOOM

      標(biāo)配:0.5×

      選配:0.375×;0.75×;1×

      物鏡塔臺

      標(biāo)配:3孔手動

      選配:5孔電動


      XY位移平臺

      尺寸320×200㎜
      移動范圍140×100㎜
      負(fù)載10kg
      控制方式電動
      Z軸聚焦行程100㎜
      控制方式電動
      Z向掃描范圍10 ㎜
      主機尺寸(長×寬×高)700×606×920㎜

      如有疑問或需要更多詳細(xì)信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。

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