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深圳市中圖儀器股份有限公司
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產(chǎn)品型號
品 牌
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更新時間：2022-08-19 17:17:20瀏覽次數(shù)：364次
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雙頻激光干涉儀sj6000采用進(jìn)口高穩(wěn)頻氦氖激光器、雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、多參數(shù)環(huán)境補(bǔ)償技術(shù)、高速數(shù)字信號處理系統(tǒng)等技術(shù)，通過與不同的光學(xué)鏡組結(jié)合，實現(xiàn)對線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測。線性測長精度0.5ppm，激光穩(wěn)頻精度：0.05ppm。
雙頻激光干涉儀sj6000機(jī)械幾何測量與矯正，測量分辨率0.01″，系統(tǒng)測量精度為±1″，基準(zhǔn)WR50自動精密轉(zhuǎn)臺重復(fù)精度為0.2″。主要特點是小巧便攜、功能強(qiáng)、無線操作。具有測量精度高、測量速度快、高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點。
SJ6000激光干涉儀結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動態(tài)測量軟件配合下，還可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
技術(shù)指標(biāo)（部分）
主機(jī)
穩(wěn)頻精度：0.05ppm
動態(tài)采集頻率：50 kHz
預(yù)熱時間：≤6分鐘
工作溫度范圍：(0~40)℃
存儲溫度范圍：(-20~70)℃
環(huán)境濕度：(0~95)%RH
環(huán)境補(bǔ)償單元
空氣溫度傳感器：±0.1℃(0~40)℃，分辨力0.01℃
材料溫度傳感器：±0.1℃(0~55)℃，分辨力0.01℃
空氣濕度傳感器：±5%RH (0~95)%RH
大氣壓力傳感器：±0.1kPa (65~115)kPa
線性測量
測量距離：(0~80)m (無需遠(yuǎn)距離線性附件)
測量精度：0.5ppm (0~40)℃
測量分辨力：1nm
測量速度：4m/s
角度測量
軸向量程：(0~15)m
測量范圍：±10°
測量精度：±(0.02%R+0.1+0.024M)″(R為顯示值，單位：″；M為測量距離，單位：m)
測量分辨力：0.1″
雙頻激光干涉儀sj6000采用進(jìn)口高穩(wěn)頻氦氖激光器、雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、多參數(shù)環(huán)境補(bǔ)償技術(shù)、高速數(shù)字信號處理系統(tǒng)等技術(shù)，通過與不同的光學(xué)鏡組結(jié)合，實現(xiàn)對線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測。線性測長精度0.5ppm，激光穩(wěn)頻精度：0.05ppm。其靜態(tài)測量軟件可以將線性測量結(jié)果生成誤差補(bǔ)償表，該表涵蓋了各個測量點的補(bǔ)償值，運動控制系統(tǒng)制造商允許通過修改運動軸的補(bǔ)償值來消除該運動軸的位置誤差，精確的補(bǔ)償，可以有效地降低運動軸的位置誤差
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