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      河南成儀設備科技有限公司


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      快速退火爐

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      具體成交價以合同協(xié)議為準

      產(chǎn)品型號

      品       牌

      廠商性質(zhì)其他

      所  在  地鄭州市

      聯(lián)系方式:經(jīng)理查看聯(lián)系方式

      更新時間:2022-08-01 12:26:23瀏覽次數(shù):385次

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      經(jīng)營模式:其他

      商鋪產(chǎn)品:70條

      所在地區(qū):河南鄭州市

      聯(lián)系人:經(jīng)理

      產(chǎn)品簡介

      型號:RTP1100用途:快速退火與鍍膜規(guī)格:Φ100*200特點:快速升溫快速降溫

      詳細介紹

        快速熱處理退火爐簡稱 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace),不但擁有很快的升溫速率100℃/S,而且降溫速率也有了質(zhì)的飛躍,降溫速率100℃/S。我們的工程師們巧妙地利用了冷壁工藝,以至于達到如此快的降溫速度。真正的快速升溫和快速降溫!

        腔體采用了雙層石英管結構,外層管進氣,內(nèi)層管出氣,使得反應氣氛與加工樣品充分而均勻地接觸。

        加熱燈管之所以能夠讓硅片快速升溫,是因為光源波長在0.3-4微米之間,石英管壁無法有效吸收這一波段的輻射,而晶片則正好相反。因此,晶片可以吸收輻射能量快速加熱,而此時石英管壁仍維持低溫,即所謂冷壁工藝。

        應用領域:

        Ø 快速熱退火 (RTA); 離子注入后退火

        Ø 石墨烯等氣象沉積,碳納米管等外延生長

        Ø 快速熱氧化 (,RTO); 熱氮化 (RTN);

        Ø 硅化 (Silicidation);

        Ø 擴散 (Diffusion);

        Ø 離子注入后退火 (Implant Annealing);

        Ø 電極合金化 (Contact Alloying);

        Ø 晶向化和堅化 (Crystallization and Densification);

        主要特點:

        Ø 快速升溫100℃/S,快速降溫100℃/S;

        Ø 雙層爐管結構,氣氛與樣品接觸更均勻;

        Ø 直接測量樣品表面溫度,測溫更精準;

        Ø 爐膛根據(jù)設置可自動左右移動,可以滿足更多的實驗應用;

        Ø 真空度可達9.8×10-4Pa;

      主要技術指標數(shù)據(jù)
      產(chǎn)品型號RTP1100
      極限溫度1200℃
      額定溫度1100℃
      控溫精度±1℃
      溫場均勻性±2℃
      升溫速率100℃/S
      降溫速率100℃/S
      操控系統(tǒng)智能模糊控制
      操作界面7英寸觸摸屏
      加熱方式短波紅外線加熱
      加熱腔體結構雙層管
      氣體流動方式外管進氣,內(nèi)管出氣
      擴充端口  可擴充真空測控和FFC供氣
      過載保護  電流過大自動切斷主回路
      超溫保護  溫度出現(xiàn)過高時切斷主回路
      傳感器類型   S型單鉑銠
      反應腔室尺寸   Φ100*200mm
      式樣有效空間3.5英寸
      傳感器類型9.8×10-4Pa
      抽氣端口尺寸KF16(或Φ8mm寶塔嘴)
      供氣口尺寸Φ6.35mm雙卡套(或Φ8mm寶塔嘴)
      樣品冷卻方式風冷
      法蘭冷卻方式水冷
      功率15KW
      額定電壓   AC 380V,50Hz
      外形凈尺寸950*500*560
      重量約55KG

       

      關鍵詞:觸摸屏

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