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河南成儀設(shè)備科技有限公司
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河南成儀設(shè)備科技有限公司
| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地鄭州市
聯(lián)系方式：經(jīng)理查看聯(lián)系方式
更新時間：2022-08-01 11:56:01瀏覽次數(shù)：370次
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型號：RTP1100-M用途：真正的快速升溫和快速降溫
快速熱處理退火爐簡稱 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace)，這款不但擁有很快的升溫速率100℃/S，而且降溫速率也有了質(zhì)的飛躍，降溫速率100℃/S。我們的工程師們巧妙的設(shè)計工藝使得冷卻氣體直接對著樣品直吹，以至于達(dá)到如此快的降溫速度。真正的快速升溫和快速降溫!
此款設(shè)備采用了成儀自主研發(fā)的智能AIO(All In One)控制系統(tǒng)，實現(xiàn)了爐膛自動左右移動，爐膛在左側(cè)加熱到設(shè)定溫度后，直接移動到右側(cè)樣品區(qū)域，實現(xiàn)樣品快速升溫，樣品加熱到設(shè)定溫度和時間后，爐膛自動移開樣品加熱區(qū)，實現(xiàn)樣品的快速降溫。成儀AIO智能控制系統(tǒng)不但實現(xiàn)了真空系統(tǒng)開啟、保護(hù)氣氛通斷以及冷卻氣體通斷的自動協(xié)調(diào)控制，而且還能自動平衡爐管內(nèi)的壓力大小，真正實現(xiàn)了操作方便，而且安全可靠。
功能舉例：樣品加熱到1000℃后，爐膛自動移開加熱區(qū)，冷卻氣體自動打開直吹樣品表面實現(xiàn)快速降溫，樣品溫度降到70℃時自動關(guān)閉冷卻氣體。然后爐膛移動到加熱區(qū)繼續(xù)加熱，如此往復(fù)，往復(fù)次數(shù)可用戶自定義。真空系統(tǒng)可根據(jù)用戶設(shè)定溫度自動開啟和關(guān)閉。
主要特點(diǎn)
Ø 快速升溫100℃/S，快速降溫100℃/S;
Ø 雙層爐管結(jié)構(gòu)，氣氛與樣品接觸更均勻;
Ø 直接測量樣品表面溫度，測溫更精準(zhǔn);
Ø 爐膛根據(jù)設(shè)置可自動左右移動，可以滿足更多的實驗應(yīng)用;
Ø 樣品實際溫度數(shù)據(jù)可通過手機(jī)APP導(dǎo)出excel表格;
應(yīng)用領(lǐng)域
Ø 快速熱退火 (RTA); 離子注入后退火
Ø 石墨烯等氣象沉積，碳納米管等外延生長
Ø 快速熱氧化 (,RTO); 熱氮化 (RTN);
Ø 硅化 (Silicidation);
Ø 擴(kuò)散 (Diffusion);
Ø 離子注入后退火 (Implant Annealing);
Ø 電極合金化 (Contact Alloying);
Ø 晶向化和堅化 (Crystallization and Densification);
| 產(chǎn)品名稱 | RTP多功能快速退火爐 |
| 產(chǎn)品型號 | RTP1100-M |
| 額定溫度 | 1100℃ |
| 溫場均勻性 | ±2℃ |
| 爐膛升溫速率 | ≥100℃/S |
| 降溫速率 | ≥100℃/S |
| 控溫方式 | 爐膛與樣品要分別控溫，兩個測溫點(diǎn) |
| 爐膛移動方式 | 根據(jù)用戶樣品設(shè)定溫度自動左右移動，往復(fù)次數(shù)可調(diào)節(jié) |
| 操控系統(tǒng) | 智能AIO操作系統(tǒng) |
| 操作界面 | 7英寸觸摸屏 |
| 加熱方式 | 短波紅外線加熱 |
| 加熱腔體結(jié)構(gòu) | 雙層石英管 |
| 外管直徑 | 100mm |
| 內(nèi)管直徑 | 80mm |
| 氣體保護(hù)方式 | 外管進(jìn)氣，內(nèi)管出氣 |
| 壓力保護(hù) | 管內(nèi)自動恒壓（0.8～1.2個大氣壓任意可調(diào)） |
| 樣品冷卻 | 加熱后爐膛自動移開，冷氣打開直吹樣品，降到設(shè)定溫度自動關(guān)閉冷卻氣體。 |
| 冷卻氣體調(diào)節(jié) | 浮子流量計(100～1000ml/min) |
| 超溫保護(hù) | 溫度出現(xiàn)過高時切斷主回路 |
| 式樣有效空間 | 90*100mm |
| 真空系統(tǒng) | 8L/S雙級聯(lián)真空系統(tǒng) |
| 整機(jī)真空度 | 0.5Pa |
| 真空啟動方式 | 根據(jù)程序設(shè)置自動啟停 |
| 抽氣端口尺寸 | KF16 |
| 供氣口尺寸 | 1/4英寸雙卡套 |
| 法蘭冷卻方式 | 水冷（短時間無需水冷） |
| 真空顯示 | 數(shù)字真空壓力表 |
| 上位機(jī)操控 | 基于安卓系統(tǒng)APP |
| 數(shù)據(jù)導(dǎo)出方式 | APP導(dǎo)出Excel表格 |
| 額定功率 | 12kw |
| 外形尺寸 | 950*500*560mm |
| 重量 | 50kg |
| 配件 | 管堵2支，法蘭水冷套1支，耐溫手套1雙，坩堝鉗1把，說明書1本。 |
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