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      沈陽新松機器人自動化股份有限公司
      
			  
			  
      
				
				
			  
      

      




 
 
				
		
      
			
      
				
      
					
      
						
      當(dāng)前位置：沈陽新松機器人自動化股份有限公司>>潔凈機器人>> 立式爐Mini STK
      
					
      
				
      
			
      
		
      
		
      
			
      
				
      
					
      立式爐Mini STK 
      
					
                             
					                    
					    
      
                        
      
                        						    
      
															
      參  考  價:面議  
      
							                            
      具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      
						
      
                        						
						
      
							
      
								
      產(chǎn)品型號
      
								
      品牌
      
	                            
      廠商性質(zhì)其他
      
	                            								
      所在地沈陽市
      
							
      
							
                            
      
                                                            
      
							
      
								
      
									更新時間：2025-01-17 07:52:55瀏覽次數(shù)：61次
								
      
								聯(lián)系我時，請告知來自 智能制造網(wǎng)
							
      
						
      
						
                        
      
											
      
                    
					                 
            			 
				
      
			
      
		
      
		
      
			
      
				
      
					
				    
      
				        				        
				        
      
				            
      
				                
      
				                    				                
      
				            
      
				            
      
				            立式爐Mini STK應(yīng)用于立式爐管設(shè)備前端，適用于FOUP的轉(zhuǎn)運 、暫存和開盒。
      
				        
				        
      
							
      
								
       
           
      advantages
               
      產(chǎn)品優(yōu)勢
           
           
           
               
               
               
               
      • 一體成型設(shè)計
        整機一體成型設(shè)計
      • 自主研發(fā)
        自主研發(fā)FTR機械手，適配多類型300mm FOUP
      • 搭載雙口開盒器
        后端搭載雙口開盒器（FIMS），實現(xiàn)Front N2 purge
      • 可選配
        可選配Shelf N2 purge
              
           
       
       
       
           
      Application areas
               
      產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域
           
           
           
      • 氧化工藝立式爐管前端配套
      • 退火工藝立式爐管前端配套
      • LPCVD工藝立式爐管前端配套
      • ALD工藝立式爐管前端配套
          
       
       
       
               
                   
      parameter
                   
      產(chǎn)品參數(shù)
               
               
                   
                                  
      •                  
        外形尺寸
                             
                                                         1745×1100×3500（mm）                    
                         
        •                              
      •                  
        工位數(shù)
                             
                                                         18                    
                         
        •                              
      •                  
        負(fù)載
                             
                                                         ≤10kg                    
                         
        •                              
      •                  
        重復(fù)位置精度
                             
                                                         ±0.1mm                    
                         
        •                              
      •                  
        振動
                             
                                                         ≤0.3g                    
                         
        •                              
               
           
       
             
							
      
				            
				        
      
                                            
				        
      
				            
				            				            				            
      
				                
      
				                    
       
       
      
				                
      
				                
      
				                    
      真空機械手 Archer 系列
      
				                     直驅(qū)電機結(jié)構(gòu)具有更高的真空特性，系統(tǒng)運行的平穩(wěn)性更好，可靠性更高。全新
				                
      
				            
      
				            				            				            				            
      
				                
      
				                    
       
       
      
				                
      
				                
      
				                    
      大氣機械手Blade-S225
      
				                     大氣機械手廣泛用于硅晶圓以及LED藍寶石基片搬運。手臂采用的結(jié)構(gòu)加強了
				                
      
				            
      
				            				            				            				            
      
				                
      
				                    
       
       
      
				                
      
				                
      
				                    
      真空機械手 SM11
      
				                     直驅(qū)電機結(jié)構(gòu)具有更高的真空特性，內(nèi)部結(jié)構(gòu)沒有齒輪，皮帶等部件，系統(tǒng)運行
				                
      
				            
      
				            				            				            				            				            				            				            				            				            				            				            				            				            				            				            				            				        
      
				    
      

				
      
			
      
		
      

               
        

		

		        



  
    
    				
			

		
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    

    

     
     
     
	 



	
	
	

      
	
      
		
      
			
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