advantages
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
優(yōu)勢(shì)明顯
速度快、穩(wěn)定性好可掛載
可掛載到Semi標(biāo)準(zhǔn)EFFM機(jī)械接口上多兼容
兼容6寸和8寸晶圓和的開啟和關(guān)閉自動(dòng)識(shí)別
自動(dòng)識(shí)別盒內(nèi)晶圓尺寸以及盒內(nèi)各槽晶圓狀態(tài)內(nèi)置多傳感器
內(nèi)置晶圓滑出和卡塞錯(cuò)位傳感器
Application areas
產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域
晶圓裝載與檢測(cè)
parameter
產(chǎn)品參數(shù)
-
動(dòng)作對(duì)象
200mm Carrier
-
移載重量
0.8kg (需要進(jìn)行5kg配重提升三次測(cè)試)
-
重復(fù)位置精度
±0.1mm
-
片盒檢查
RFID讀取、微型光電傳感器、對(duì)射式光電傳感器
-
材質(zhì)
耐酸鋁+不銹鋼
-
外形尺寸
815H*365W*425D（mm）
-
本體重量
65kg
-
工作臺(tái)
帶有片盒載荷傳感器
-
可靠性
MTBF：17000h
-
開盒時(shí)間
12.5s
-
關(guān)盒時(shí)間
14s
智能制造網(wǎng)