耦合傳動、伺服驅(qū)動、潔凈傳動及潤滑、SCARA手臂結(jié)構(gòu)，具有占用空間小、大伸縮比、高精度、高潔凈度等優(yōu)點。迎合個性化設(shè)計，手指及接口用戶可定制，網(wǎng)絡(luò)化控制系統(tǒng)，高效率傳片和碰撞保護功能，SEMI認證S2、F47，MCBF大于1000萬次。負責完成晶圓在FOUP、緩沖室、工藝位置等之間的自動傳送。是半導(dǎo)體行業(yè)的*之選擇。
參數(shù)：
結(jié)構(gòu)形式Mechanical Structure | 柱坐標型/SCARA型 Cylindrical Coordinate/SCARA | |
負載Payload | 名稱name | 晶圓wafer |
直徑diameter | 2寸/4寸/6寸/8寸/12寸 | |
重量weight | ≤0.5kg | |
自由度數(shù)DOF | 5 | |
手數(shù)量Number of Arm | 2 | |
回轉(zhuǎn)直徑Maximum Swing diameter | 580mm | |
運動范圍 Moving Range | 升降軸 (Z軸)Up/Down( Z)-Axis | 450mm |
回轉(zhuǎn)軸 (T軸) Rotational(T)-Axis | 270° | |
伸展軸 (R) Extension(R)-Axis | R670mm | |
節(jié)拍 Swap time | 升降軸 (Z軸) Up/Down( Z)-Axis | ＜1s（Home to Fullextension） |
回轉(zhuǎn)軸 (T軸) Rotational(T)-Axis | 0.7s/180° | |
伸展軸 (R1、R2) Extension(R1、R2)-Axis | 1.2s/450mm | |
重復(fù)定位精度 Repeatability | 升降軸 (Z軸)Up/Down( Z)-Axis | ±0.1 mm(3σ) |
回轉(zhuǎn)軸 (T軸) Rotational(T)-Axis | ±0.006°(3σ) | |
伸展軸 (R1、R2) Extension(R1、R2)-Axis | ±0.1 mm(3σ) | |
潔凈度Clean Class | CLASS 1 | |
主機重量Body Weight | 60 kg | |
電源Power Supply | 208VAC(50Hz/60Hz) | |
行程 | 670mm | |
智能制造網(wǎng)