直驅(qū)電機(jī)結(jié)構(gòu)具有更高的真空特性，內(nèi)部結(jié)構(gòu)沒有齒輪，皮帶等部件，系統(tǒng)運(yùn)行的平穩(wěn)性更好，可靠性更高。全新的IO模塊，具有更多的輸出輸入引腳，用戶可以根據(jù)需求配置成互鎖，傳感器檢測(cè)等功能。輸入信號(hào)支硬件中斷功能，。帶有安全區(qū)配置功能和靈敏的碰撞保護(hù)功能，減少用戶誤操作導(dǎo)致的各種損失。帶有大屏幕機(jī)器人示教器，方便調(diào)試人員使用，并支持熱插拔功能?？梢愿鶕?jù)客戶應(yīng)用的特殊要求，Z軸行程，耐高溫耐腐蝕特性等。
參數(shù)：
本體重量 | 50KG |
適用晶圓尺寸 | 300mm/200mm/150mm/100mm |
負(fù)載 | ＜500g |
電源輸入 | AC電壓:AC208V AC頻率：50HZ/60HZ |
電源范圍 電壓波動(dòng)范圍 | 單相交流208V +10%，-15% |
節(jié)拍 | R axis＜3（Home to Extend703mm） |
θ axis＜2.5s(180°)(根據(jù)實(shí)際摩擦力) | |
Z axis＜1.8s（90mm） | |
重復(fù)定位精度 | Z: ±0.05mm（3σ） |
T: ±0.003°（3σ） | |
R: ±0.05mm（3σ） | |
漏率 | < 1 x 10-9 std. cc/sec He |
真空度 | 5X10-9Torr |
適用溫度 | 法蘭:<120℃;本體:<50℃;手臂:<120℃ |
行程 | R軸703mm Z軸90mm |
潔凈度 | ISO CLASS1 |
MCBF | >11million cycles |
復(fù)合運(yùn)動(dòng) | 支持 |
PC遠(yuǎn)程操作軟件 | 支持 |
通信接口 | Ethernet/串口 |
IO互鎖 | 支持 |
安全區(qū) | 支持 |
碰撞保護(hù) | 支持 |
智能制造網(wǎng)