SORTER是一個工廠材料傳輸設(shè)備，是一個與SEMI標(biāo)準(zhǔn)兼容的界面系統(tǒng)，可以手動或者配合AGV或OHT的承載水平傳輸晶圓。該系統(tǒng)提供單線接口供工廠控制，充裕的傳輸間距與工廠交互和簡單的方式供人工服務(wù)。占地面積小，采用無X軸的雙臂機械手，通過雙軸復(fù)合運動實現(xiàn)取放片，*的提高了傳片效率的同時而又降低了產(chǎn)品維護成本。內(nèi)部全新的氣體導(dǎo)流結(jié)構(gòu)，保證內(nèi)部空間潔凈度能夠滿足iso class 1級別，保證晶圓傳輸過程的潔凈度。內(nèi)部帶有多重互鎖保護，從軟件到硬件，多重保證晶圓傳輸過程中的安全，人員與設(shè)備的安全。
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