耦合傳動(dòng)、伺服驅(qū)動(dòng)、潔凈傳動(dòng)及潤(rùn)滑、SCARA手臂結(jié)構(gòu),具有占用空間小、大伸縮比、高精度、高潔凈度等優(yōu)點(diǎn)。迎合個(gè)性化設(shè)計(jì),手指及接口用戶可定制,網(wǎng)絡(luò)化控制系統(tǒng),高速傳片效率和碰撞保護(hù)功能,SEMI認(rèn)證S2、F47,MCBF大于1000萬(wàn)次。負(fù)責(zé)完成晶圓在FOUP、緩沖室、工藝位置等之間的自動(dòng)傳送。是半導(dǎo)體行業(yè)的*之選擇。
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