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東莞市晟鼎精密儀器有限公司
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所 在 地東莞市
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更新時間:2024-04-19 16:24:33瀏覽次數(shù):172次
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全自動雙腔半導(dǎo)體退火爐,RTP-DTS-8是一款全自動雙腔快速退火設(shè)備,可兼容6-8英寸晶圓Wafer。
快速退火爐是利用鹵素紅外燈作為熱源,通過極快的升溫速率,將材料在極短的時間內(nèi)從室溫加熱到300℃-1250℃,從而消除材料內(nèi)部的一些缺陷,改善產(chǎn)品性能。
全自動雙腔半導(dǎo)體退火爐,RTP-DTS-8是一款全自動雙腔快速退火設(shè)備,可兼容6-8英寸晶圓Wafer。
全自動雙腔半導(dǎo)體退火爐產(chǎn)品優(yōu)勢:
全自動雙腔設(shè)計,有效提升產(chǎn)能;
溫度可達(dá)1250℃,具有超高溫場均勻性;
具備穩(wěn)定的溫度重現(xiàn)性;
能夠滿足SIC量產(chǎn)化制程需求。
晟鼎是一家集研發(fā)與設(shè)計、生產(chǎn)、銷售及產(chǎn)業(yè)鏈服務(wù)為一體的企業(yè)。致力于提供表面性能處理及檢測整體解決方案。
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