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      行業(yè)產(chǎn)品

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      東莞市晟鼎精密儀器有限公司


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      桌面型快速退火爐RTP-Table-6

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      參  考  價面議
      具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

      產(chǎn)品型號

      品       牌

      廠商性質(zhì)其他

      所  在  地東莞市

      聯(lián)系方式:銷售部查看聯(lián)系方式

      更新時間:2024-03-18 17:52:51瀏覽次數(shù):125次

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      經(jīng)營模式:其他

      商鋪產(chǎn)品:48條

      所在地區(qū):廣東東莞市

      聯(lián)系人:銷售部

      產(chǎn)品簡介

      RTP-Table-6桌面型快速退火爐是利用鹵素紅外燈作為熱源,利用極快的升溫速率,將晶圓或是材料在很短的時間加熱至300℃-1250℃,進而消去晶圓或是原材料內(nèi)部某些缺點,改進產(chǎn)品特性

      詳細(xì)介紹

      RTP-Table-6桌面型快速退火爐是利用鹵素紅外燈作為熱源,利用極快的升溫速率,將晶圓或是材料在很短的時間加熱至300℃-1250℃,進而消去晶圓或是原材料內(nèi)部某些缺點,改進產(chǎn)品特性。

      工作原理

      快速退火爐采用的微電腦自動控制系統(tǒng),選用PID閉環(huán)控制溫度,能夠達(dá)到的控溫精度和溫度均勻性,而且可配置真空腔體,也可根據(jù)客戶加工工藝要求配備多路氣體。

      行業(yè)應(yīng)用

      快速熱處理工藝(RTP)

      快速退火(RTA)

      快速熱氧化(RTO)

      化合物合金(砷化鎵、氮化物等)

      多晶硅退火

      歐姆接觸快速合金

      產(chǎn)品優(yōu)勢
      暫無數(shù)據(jù)
      應(yīng)用案例
      產(chǎn)品推薦

      半自動快速退火爐RTP-SA-12

      可測單晶片樣品的尺寸為12英寸

      全自動雙腔快速退火爐RTP-DTS-8

      全自動雙腔設(shè)計,可兼容6-8英寸WAFER

      產(chǎn)品尺寸               6寸晶圓或者支持150*150mm產(chǎn)品

      溫度范圍                     室溫~1250℃

      溫控方式                     快速PID溫控

      溫度均勻度                  ±5℃≤500℃           ±1%>500℃

      配件類型

      關(guān)鍵詞:自動控制系統(tǒng) PID
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