臺(tái)體

chuck尺寸

8英寸

水平旋轉(zhuǎn)

卡盤可以360度旋轉(zhuǎn)，細(xì)調(diào)精度不大于0.1度，帶有鎖定旋鈕

XY移動(dòng)行程

8英寸*8英寸

XY移動(dòng)精度

10um/1um可選

樣品固定

樣品夾定，尺寸可調(diào)；真空吸附固定，卡盤多圈吸附環(huán)可獨(dú)立控制

雙面點(diǎn)針平臺(tái)

氣動(dòng)升降平臺(tái)升起為雙平臺(tái)，落下可做單平臺(tái)使用

平臺(tái)針座數(shù)量

單平臺(tái)最多放置8個(gè)CB-200針座

卡盤結(jié)構(gòu)

普通/高溫/帶背電極等結(jié)構(gòu)卡可選擇

溫控系統(tǒng)

溫度范圍

室溫~300℃ (400℃,500℃可選）

溫控精度

0.1℃

溫控穩(wěn)定性

±1℃

溫控傳感器

100Ω 鉑電阻傳感器

正面光學(xué)系統(tǒng)

CCD

200W/500W/1200W像素可選（正反面）

顯微鏡類型

單筒/體視/金相顯微鏡可選

放大倍率

16X-100X/20X-2000X

顯微鏡調(diào)節(jié)

水平方向繞立柱旋轉(zhuǎn)X-Y移動(dòng)2*2英寸，Z軸行程50.8mm

光源

外置LED環(huán)形光源/同軸光源

背面光學(xué)系統(tǒng)

顯微鏡類型

L型單筒顯微鏡

連續(xù)變倍比

6.3:1

放大倍率范圍

0.75–5X

放大倍率

315X（計(jì)算公式：變焦*CCD*顯示器）

顯微鏡調(diào)節(jié)

萬(wàn)向移動(dòng)

光源

同軸光源

探針座

X-Y-Z移動(dòng)行程

12*12*12mm

移動(dòng)精度

10/2/0.7/0.5/0.35um可選

固定方式

磁力吸附/真空吸附可選

探針夾具

線纜

同軸線/三軸線可選

漏電精度

10pA/100fA

探針固定方式

彈簧固定/管狀固定

接頭類型

BNC/三同軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子等可選

探針

材質(zhì)

鎢鋼/鈹銅可選

針尖直徑

0.2/1/2/5/10/20/50/100um可選

探針可選配件

屏蔽箱

高壓測(cè)試配件

光學(xué)防震桌

射頻測(cè)試配件

鍍金卡盤

轉(zhuǎn)接頭

探針卡夾具

其他