GS600高精度激光干涉儀

要進(jìn)行線性測(cè)量，需使用隨附的兩個(gè)外加螺絲將其中的一個(gè)線性反射鏡安裝在分光鏡上，這個(gè)組合裝置就是“線性干涉鏡”。線性干涉鏡放置在激光頭和線性反射鏡之間的光路上，用它的反射光線形成激光光束的參考光路，另一束光入射到線性反射鏡，通過線性反射鏡的線性位移來實(shí)現(xiàn)線性測(cè)量。如下圖所示

 激光干涉儀可用于精密機(jī)床、三坐標(biāo)的定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度的測(cè)量。測(cè)量時(shí)在工作部件運(yùn)動(dòng)

過程中自動(dòng)采集并及時(shí)處理數(shù)據(jù)。

軟件內(nèi)置10項(xiàng)常用機(jī)床檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)，自動(dòng)采集完數(shù)據(jù)后根據(jù)所選標(biāo)準(zhǔn)自動(dòng)計(jì)算出所需誤差數(shù)據(jù)，為機(jī)床、三坐標(biāo)的誤差修正提供依據(jù)。

 利用激光干涉儀對(duì)位移傳感器檢定成為發(fā)展趨勢(shì)，其特點(diǎn)是反應(yīng)速度快、測(cè)量精度高。

 準(zhǔn)直平臺(tái)/傾斜工作臺(tái)的測(cè)量

由于角度鏡組的不同安裝方式，其測(cè)量結(jié)果代表不同方向的角度值。您可以結(jié)合實(shí)際需要進(jìn)行安裝、測(cè)量。

  在直線度測(cè)量過程中，可以由直線度干涉鏡或者直線度反射鏡運(yùn)動(dòng)所產(chǎn)生相對(duì)于運(yùn)動(dòng)軸的橫向移動(dòng)來進(jìn)行測(cè)量，一般盡可能的采用直線度干涉鏡相對(duì)于直線度反射的運(yùn)動(dòng)，這樣操作有利于提高測(cè)量的準(zhǔn)確性和精度。直線度測(cè)量可以對(duì)水平面和垂直面進(jìn)行測(cè)量，這取決于直線度干涉鏡和反射鏡安裝的方法。

GS600高精度激光干涉儀 技術(shù)指標(biāo)
系統(tǒng)性能

   測(cè)量方式：單頻

   穩(wěn)頻精度：0.05ppm

   動(dòng)態(tài)采集頻率：50 kHz

   預(yù)熱時(shí)間：5-10分鐘

 工作溫度范圍：0-38℃

 環(huán)境溫度范圍：0-38℃，環(huán)境濕度：0-95%

 存儲(chǔ)溫度范圍：-20℃-70℃

環(huán)境補(bǔ)償示值誤差

 空氣溫度傳感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

 材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

 空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)

 大氣壓力傳感器：±0.1kPa

線性測(cè)量

 測(cè)量距離：0-40m

 測(cè)量精度：0.5ppm (0-38℃)

 測(cè)量分辨率：1nm

 測(cè)量速度：3m/sec

角度測(cè)量

 軸向量程：0-15m

 測(cè)量范圍：±10°

 測(cè)量精度：±（0.1+0.2%R+0.02M）″（R為顯示值，單位：″；M為測(cè)量距離，單位：m）

 測(cè)量分辨率：0.1″

平面度測(cè)量

 軸向量程：0-15 m

 測(cè)量范圍：±1.5 mm

 測(cè)量精度：±（0.6%R+0.02 M2）μm（R為顯示值，單位：μm；M為測(cè)量距離，單位：m）

 基板尺寸：50mm、100mm、150mm

 測(cè)量分辨率：0.1μm

直線度測(cè)量

 軸向量程：0.1-4.0 m

 測(cè)量范圍：±3.5 mm

 測(cè)量精度：±（0.5+0.1%R +0.15M2）μm（R為顯示值，單位：μm；M為測(cè)量距離，單位：m）

 測(cè)量分辨率：0.01μm

垂直度測(cè)量

 軸向量程：0.1-3.0 m

 測(cè)量范圍：±3.5mm

 測(cè)量精度：±（0.5+0.5%R+0.2M）″（R為顯示值，單位：″；M為測(cè)量距離，單位：m）

 測(cè)量分辨率：0.01μm/m

回轉(zhuǎn)軸分度精度測(cè)量

 角度測(cè)量范圍：0-360°

 精密轉(zhuǎn)臺(tái)角度增量：5°

 精密轉(zhuǎn)臺(tái)分度精度：±1″

 精密轉(zhuǎn)臺(tái)重復(fù)性：0.2″

尺寸重量與供電
 便攜箱尺寸：560×360×250（基礎(chǔ)系統(tǒng)），560×460×270（完整系統(tǒng)）

 基本重量(含三腳架，包裝)：15Kg

 供電電源：110~265VAC

 
系統(tǒng)組件：
1)SJ6000主機(jī)：1臺(tái)

2)環(huán)境補(bǔ)償單元：1臺(tái)

3)光學(xué)鏡組：

線性測(cè)量光學(xué)鏡組：1套（標(biāo)準(zhǔn)配置）

小型線性光學(xué)鏡組：1套（選配）

      小角度測(cè)量光學(xué)鏡組：1套（選配）

      直線度測(cè)量光學(xué)鏡組：1套（選配）

      垂直度測(cè)量光學(xué)鏡組：1套（選配）

      平面度測(cè)量輔助附件：1套（選配）

回轉(zhuǎn)軸測(cè)量精密轉(zhuǎn)臺(tái)：1套（選配）

4)測(cè)量軟件：1套

5)便攜式筆記本電腦：1臺(tái)

6)便攜式儀器配件箱：1個(gè)

7)通用三腳架：1個(gè)

8)云臺(tái)附件：1套

9)磁性表座：2套

10)產(chǎn)品使用說明書：1套

11)產(chǎn)品合格證、保修卡：1套

12)免費(fèi)保修：1年

13)校準(zhǔn)證書（選配）

激光頻率校準(zhǔn)證書：

   1）由深圳市計(jì)量質(zhì)量檢測(cè)研究院出具；

   2）由其它機(jī)構(gòu)出具。

環(huán)境補(bǔ)償單元校準(zhǔn)證書：
  1）由深圳市計(jì)量質(zhì)量檢測(cè)研究院出具；
   2）由其它機(jī)構(gòu)出具。
線性位移校準(zhǔn)證書：
   1）由中國*出具；
  2）由其它機(jī)構(gòu)出具。
直線度校準(zhǔn)證書：
  1）由中國*出具；
   2）由其它機(jī)構(gòu)出具。
小角度校準(zhǔn)證書：
  1）由中國*出具；
  2）由其它機(jī)構(gòu)出具。

   3)夏、冬實(shí)驗(yàn)室工作服各1件（選配）