筱曉光子 λ/1000 D7系列超高精度激光干涉儀 Difrotec
愛沙尼亞Difrotec公司的激光干涉儀是市場上高精度干涉儀的產(chǎn)品,測量精度可達0.6nm(λ/1000). 其產(chǎn)品D7激光干涉儀采用點衍射技術(shù),主要用于高精度的表面(平面,球面,非球面,自由曲面)檢測及透射波檢測。Difrotec在光學(xué)測試域有多項紀(jì)錄。
● 峰谷精度:±0.6nm(λ/1000)
● 峰谷分辨率:0.05 nm(λ/12000)
● 波均方根重復(fù)性:<0.23nm(λ/2800)
● 簡單均方根重復(fù)性:<0.06 nm(λ/10500)
● 激光類型和波長:穩(wěn)定He-Ne,632.8nm
● 數(shù)值孔徑 NA:0.55(f 0.91)
● 數(shù)據(jù)采集:相移干涉法(psi)
更新時間:2023/5/24 17:35:26