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透射電子顯微鏡 H-9500：為了滿足這種需求，日立*公司研發(fā)出了 H-9500透射電子顯微鏡，此款高分辨透射電子顯微鏡不僅具備實(shí)地驗(yàn)證過的各種優(yōu)秀性能，而且配置了很多滿足客戶多種需求的*功能，并采用了全新的數(shù)字技術(shù)，便于用戶及時快速獲取原子水平的樣品結(jié)構(gòu)信息。
透射電子顯微鏡 H-9500
在精細(xì)加工技術(shù)已進(jìn)入到亞納米級水平的半導(dǎo)體，*材料的研發(fā)領(lǐng)域，原子分辨率電子顯微鏡正在成為日益重要的，*的工具。
特色
用戶友好型的操作系統(tǒng)
- 和Windows®兼容的圖形用戶界面設(shè)計(jì)
- 快速的樣品分析，1分鐘換樣，5分鐘內(nèi)升高壓至(300 kV)
- 高穩(wěn)定性，高分辨率透射電子顯微鏡
高穩(wěn)定性，高分辨率透射電子顯微鏡
- 點(diǎn)分辨率為0.18 nm，晶格分辨率為0.1 nm
- 穩(wěn)定可靠的5軸優(yōu)中心測角臺
- 性能優(yōu)異，可靠性高
性能優(yōu)異，可靠性高
- 得到市場驗(yàn)證的10級加速器電子槍設(shè)計(jì)
- 阻抗式高壓電纜設(shè)計(jì)
- 高檔可選附件
高檔可選附件
- 通用樣品桿，在日立公司的TEM, FIB 和 STEM系統(tǒng)均可使用
- 可為原子分辨率的動態(tài)研究提供加熱，冷卻和氣體注入等多種樣品桿
備注：FPD(平板顯示器)上的圖像為模擬圖像。
規(guī)格
| 項(xiàng)目 | 說明 | |
|---|---|---|
| 分辨率 | 0.10nm(晶格分辨率) 0.18nm(點(diǎn)分辨率) | |
| 加速電壓 | 300kV、200kV*1、100kV*1 | |
| 放大倍率 | 連續(xù)放大模式 | 1,000～1,500,000× |
| 選區(qū)模式 | 4,000～500,000× | |
| 低倍模式 | 200～500× | |
| 電子槍 | 燈絲 | LaB6(六硼化鑭燈絲，直流加熱) |
| 燈絲交換 | 自動升降式電子槍 | |
| 高壓電纜 | 阻抗電纜 | |
| 照射系統(tǒng) | 透鏡 | 四級透鏡 |
| 聚光鏡光闌 | 4孔可變 | |
| 探針尺寸 | 微米束模式：0.05 - 0.2 µm(4級) 納米束模式：1 - 10 nm(4級) | |
| 電子束傾斜 | ±3° | |
| 成像系統(tǒng) | 透鏡 | 五級透鏡 |
| 聚焦 | 圖像搖擺調(diào)整 利用像散監(jiān)視器進(jìn)行正焦補(bǔ)償 聚焦優(yōu)化 | |
| 物鏡光闌 | 4孔可變光闌 | |
| 選區(qū)光闌 | 4孔可變光闌 | |
