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掃描電子顯微鏡 AeroSurf 15不僅可在真空下，還可在大氣壓下進(jìn)行SEM觀察 含水樣品也無需前處理即可直接觀察。
掃描電子顯微鏡 AeroSurf 15
- 標(biāo)準(zhǔn)搭載ES-Corrector（電子束散射校正）圖像改善功能
- 在真空模式下，除了通常的SEM觀察之外，還可進(jìn)行EDX分析（選配）
- 主機(jī)采用330 mm寬度的小型設(shè)計，實(shí)現(xiàn)節(jié)省空間和高便利性
- 無需等待抽真空時間，快速實(shí)現(xiàn)從搭載樣品到觀察圖像的全過程
- 概要
大氣壓觀察（圖1）
- 樣品設(shè)置在標(biāo)準(zhǔn)大氣壓環(huán)境下（105 Pa）
- 配置樣品的大氣壓倉室與SEM內(nèi)部由隔膜分離，在保持SEM內(nèi)部真空的同時，可對樣品進(jìn)行電子束照射觀察
- 而且，可通過附帶的真空泵在負(fù)壓下（約103～105 Pa）進(jìn)行觀察
低真空觀察（圖2）
- 隔膜可拆卸，還可進(jìn)行低真空SEM觀察和EDX分析
- 搭載了日立臺式顯微鏡TM系列中廣為采用的高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測器
圖1：大氣壓或負(fù)壓觀察時
圖2：低真空觀察時
規(guī)格
項目 | 內(nèi)容 |
|---|---|
電子槍 | 預(yù)對中燈絲 |
檢測系統(tǒng) | 高靈敏度4分割半導(dǎo)體背散射電子檢測器 |
加速電壓 | 5 kV/15 kV |
倍率 | ×15～×60,000（使用數(shù)碼變焦時：×240,000） |
觀察壓力 | 大氣壓模式（105 Pa）（裝有隔膜時） |
負(fù)壓模式（約103 Pa～105 Pa）（裝有隔膜時） | |
低真空模式（數(shù) Pa～數(shù)10 Pa）（拆下隔膜時） | |
大樣品尺寸 | 直徑55 mm |
大小和重量 | 主機(jī)：330（W）×687（D）×565（H）mm, 67.0 kg（手動操作臺） 控制裝置：220（W）×368（D）×235（H）mm, 11.8 kg 隔膜泵：145（W）×256（D）×217（H）mm, 4.5 kg ×2臺 |
圖1：大氣壓或負(fù)壓觀察時
圖2：低真空觀察時
規(guī)格
項目 | 內(nèi)容 |
|---|---|
電子槍 | 預(yù)對中燈絲 |
檢測系統(tǒng) | 高靈敏度4分割半導(dǎo)體背散射電子檢測器 |
加速電壓 | 5 kV/15 kV |
倍率 | ×15～×60,000（使用數(shù)碼變焦時：×240,000） |
觀察壓力 | 大氣壓模式（105 Pa）（裝有隔膜時） |
負(fù)壓模式（約103 Pa～105 Pa）（裝有隔膜時） | |
低真空模式（數(shù) Pa～數(shù)10 Pa）（拆下隔膜時） | |
大樣品尺寸 | 直徑55 mm |
大小和重量 | 主機(jī)：330（W）×687（D）×565（H）mm, 67.0 kg（手動操作臺） 控制裝置：220（W）×368（D）×235（H）mm, 11.8 kg 隔膜泵：145（W）×256（D）×217（H）mm, 4.5 kg ×2臺 |
