MENS測(cè)試和研發(fā)的一體化系統(tǒng) MicroMap5010

為微機(jī)械結(jié)構(gòu)建模和設(shè)計(jì)，以及MEMS正在受到挑戰(zhàn)，是由于微結(jié)構(gòu)不同于大型結(jié)構(gòu)。由于熱效應(yīng)，空氣壓力變化和邊界條件的變化可能會(huì)引起振動(dòng)模態(tài)從一個(gè)頻率移到另外一個(gè)頻率 。

由熱效應(yīng)和振動(dòng)引起的靜態(tài)變形的全場(chǎng)和實(shí)時(shí)信息的采集，顯得非常重要。當(dāng)面內(nèi)位移和表面輪廓能夠很好地被測(cè)量時(shí)，MicroMap 5010代表了為微結(jié)構(gòu)進(jìn)行的研究，開發(fā)和產(chǎn)品測(cè)試的完整和強(qiáng)大的測(cè)試工具。

MicroMap5010 是對(duì)微機(jī)械結(jié)構(gòu)的動(dòng)態(tài)和靜態(tài)位移進(jìn)行三維測(cè)量的激光型多功能測(cè)試系統(tǒng)。MicroMap 5010也可以用來測(cè)量結(jié)構(gòu)輪廓。

MicroMap 5010 可以測(cè)量粗超和光滑的表面，小到245微米x330微米和高于3微米的空間分辨率。使用顯微放大鏡頭來獲取被測(cè)物的圖像。MicroMap 5010 的工作距離比較長，測(cè)量可以通過窗口，熱過濾器和鏡面來完成。

于動(dòng)態(tài)測(cè)量，MicroMap5010 使用所謂的時(shí)間平均原理，給出振動(dòng)結(jié)構(gòu)的幅值和相位可信的，全場(chǎng)數(shù)據(jù)。無需掃描性能，測(cè)試表面的所有點(diǎn)的數(shù)據(jù)采集是同時(shí)完成的。本底噪聲幅值（RMS）可以地道0.01 納米，頻率可以到500 MHZ甚至更高。對(duì)于平面外測(cè)量，標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)的頻率范圍可以到20MHZ，對(duì)于平面測(cè)量，標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)的頻率可以到50 KHZ。

對(duì)于準(zhǔn)靜態(tài)變形測(cè)量，MicroMap5010 可以測(cè)量和顯示全場(chǎng)變形圖，位移分辨率大約1nm,zui大位移量程是幾個(gè)um 。對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)，靜態(tài)位移的采樣率是30 HZ，較高的采樣率也可以定制。

對(duì)于輪廓測(cè)量， MicroMap5010 使用平面鏡作為參考物，測(cè)試物的輪廓和平面參考表面進(jìn)行對(duì)比 。表面輪廓測(cè)量選項(xiàng)有些局限性，只有平滑和連續(xù)的輪廓可以測(cè)量，

跨度比較大的輪廓不可能測(cè)量的。

對(duì)于振動(dòng)和準(zhǔn)靜態(tài)變形的平面測(cè)量，系統(tǒng)使用可選的帶雙照明光學(xué)頭完成。平面測(cè)量只能針對(duì)粗超表面，光滑表面必須采用散光材料涂層，和系統(tǒng)里的平面模塊一起使用。                         

   現(xiàn)代和界面友好的技術(shù)

經(jīng)過考驗(yàn)的現(xiàn)代技術(shù)

當(dāng)坐飛機(jī)時(shí)，可以采用MicroMap 5010的Macro版本對(duì)飛機(jī)的渦輪機(jī)進(jìn)行測(cè)試。VibroMap 1000 和 MicroMap 5010兩套系統(tǒng)都是基于現(xiàn)代干涉技術(shù)，這種技術(shù)普遍運(yùn)用于航空，航天，汽車，音響，電子和MEMS工業(yè)領(lǐng)域。

界面友好

MicroMap5010和 VibroMap1000系統(tǒng)，無須太多時(shí)間的準(zhǔn)備和調(diào)試就可以測(cè)試。這種技術(shù)可以產(chǎn)生交匙設(shè)備 ，操作者只要看著電視屏幕上，就可以看到信號(hào)的基本信息，對(duì)測(cè)量輸出信號(hào)的有效性具有相當(dāng)?shù)淖孕拧?/span>

MENS測(cè)試和研發(fā)的一體化系統(tǒng) MicroMap5010兩種基本的操作模式

實(shí)時(shí)模式：

對(duì)于準(zhǔn)靜態(tài)變形測(cè)量和高達(dá)GHZ甚至更高頻率的動(dòng)態(tài)測(cè)量，采用實(shí)時(shí)模式 。使用實(shí)時(shí)模式，測(cè)量是每秒鐘30次（標(biāo)準(zhǔn)）。位移圖以半定量的方式呈現(xiàn)出來，也就是等位移邊緣圖，由激勵(lì)頻率，邊界和載荷變化引起的位移變化可以在顯示器里面立馬顯現(xiàn)。

Real time amplitude fringes

數(shù)字模式 ：

數(shù)字模式可以給出靜態(tài)變形，振動(dòng)幅值及相位的數(shù)字信息。對(duì)于振動(dòng)測(cè)量，幾秒鐘到幾分鐘就可以記錄620x480個(gè)測(cè)點(diǎn)的全場(chǎng)數(shù)字信號(hào)。對(duì)于準(zhǔn)靜態(tài)測(cè)量，數(shù)字模式的操作可以測(cè)得從時(shí)間 t 到 t+dt時(shí)間內(nèi)的表面位移，dt 可以是幾秒鐘到幾分鐘。準(zhǔn)靜態(tài)測(cè)量，如果測(cè)試物在記錄期間以有限的速度進(jìn)行運(yùn)動(dòng)，則可以在一個(gè)時(shí)間段里連續(xù)跟蹤和測(cè)量，

輸出信號(hào)的可靠性高

操作的兩種模式對(duì)于測(cè)量數(shù)據(jù)的有效性可以給出*的可靠性和自信。特別是當(dāng)不希望的測(cè)試結(jié)果出現(xiàn)時(shí)，兩種測(cè)試模式作為額外的測(cè)試時(shí)是有用的。如果測(cè)試數(shù)據(jù)以數(shù)字模式來呈現(xiàn)時(shí)，然后就沒有機(jī)會(huì)來評(píng)估算法和計(jì)算的有效性。兩種操作模式是MicroMap技術(shù)諸多優(yōu)點(diǎn)中的其中之一。

_{Numerical 3D plot} Numerical line plot

標(biāo)準(zhǔn)配置 ：

•   平面外測(cè)量光學(xué)頭和平面內(nèi)測(cè)量的光學(xué)頭

•   光學(xué)頭的固定平臺(tái)，包括高度調(diào)節(jié)

•   計(jì)算機(jī)

•   信號(hào)發(fā)生器

•   振動(dòng)測(cè)量軟件

•   靜態(tài)變形測(cè)量和表面輪廓測(cè)量軟件

•   物體夾持器和激勵(lì)單元

MicroMap 5010 可用于三種測(cè)量形式：
0-500MHz 或以上的振動(dòng)cesh測(cè)試；

靜止變形測(cè)量；

全場(chǎng)測(cè)量

三維測(cè)量

MicroMap 5010 使用方法與VibroMap 1000相似.  MicroMap 5010 也可用于平面內(nèi)反射的測(cè)量（但只能測(cè)量毛糙表面）。 Optonor MicroMap 5010 系統(tǒng)主要用途是微電子機(jī)械系統(tǒng)（MEMS)的分析如：壓力傳感器；旋轉(zhuǎn)羅盤，加速度傳感器，泵，閥等。

下面是一些VibroMap 5010測(cè)量的動(dòng)畫范例：