直線伺服的超精密運(yùn)動平臺主要特點(diǎn)

× 精密度高，可定制重復(fù)定位精度0.1um或更高精度的精密平臺

× 速度高，zui高速度可達(dá)到7m/s，*提高生產(chǎn)效率

× 潔凈度高，平臺運(yùn)動無需絲杠、減速器等中間部件，無需采用相關(guān)維護(hù)保養(yǎng)措施，適用高潔凈要求環(huán)境

× 高剛性，加速性能好

× 動態(tài)響應(yīng)快，執(zhí)行機(jī)構(gòu)與平臺之間無非線性機(jī)械部件，可獲得*動態(tài)響應(yīng)

× 平臺零件少，組裝調(diào)試簡單，零維護(hù)

× 平臺運(yùn)動平穩(wěn)，運(yùn)動速度從1um/s到7m/s均能適應(yīng)，推力范圍從幾牛頓到幾萬牛頓可選

直線伺服的超精密運(yùn)動平臺廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體加工設(shè)備、激光加工設(shè)備、電子加工設(shè)備、精密機(jī)床設(shè)備、物流設(shè)備、機(jī)器人設(shè)備、分子篩等

超精密運(yùn)動平臺的大小和精度

zui大行程：50~1000mm （x/y）

精度：0.1um~10um