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該傳感器是一種非接觸式的電容位移傳感器；兩個傳感器板形成一個平行板電容器，每個傳感器可用在兩個不同的測量范圍；納米分辨率；零磁滯。
應用領域
壓電微位移、振動臺，電子顯微鏡微調(diào)，天文望遠鏡鏡片微調(diào)，精密微位移測量等。
主要特點
◆
量程20～1250μm；
◆
分辨率<0.1nm；零磁滯；
◆
線性zui高0.02%；
◆
頻帶可調(diào)：50～5000Hz；靈敏度可調(diào)；
◆
真空兼容選項；
雙極性電容傳感器工作示意圖
相關產(chǎn)品
ZLDS200激光二維掃描傳感器 ZLDS10X可定制激光位移傳感器 KD2306高性能電渦流位移傳感器 技術規(guī)格
安裝尺寸
傳感器型號
ZNXA
ZNXB
ZNXC
ZNXD
小量程μm
-
20
100
250
靈敏度μm/V
-
2
10
25
噪音nm rms Hz-1/2
-
<0.001
<0.005
<0.013
溫漂nm/K
-
1
4.4
11
線性度%
-
<0.08
<0.03
<0.06
大量程μm
50
100
500
1250
靈敏度μm/V
5
10
50
125
噪音nm rms Hz-1/2
<0.08
<0.015
<0.075
<0.188
溫漂nm/K
2.2
4.4
22
55
線性度%
<0.08
<0.08
<0.05
<0.06
頻響Hz
50/500/5000
控制器型號
NS2000
NPS2110
S2000和NS模塊
NPS3330
傳感器通道zui大個數(shù)
1
1
14
3
供電
±15V，70mA
90～130V或220～260V
90～110V或110～130V或220～260V
90～260V
模擬輸出V
±5
±5
±5
數(shù)字輸出
16位（可選）
7位浮點數(shù)
頻響KHz
5
5
5
12.5
◆我們保留規(guī)格變化而不另行通知的權利。
真尚有科技有限公司是中國*的測量傳感器、測量方案及系統(tǒng)供應商，總部英國真尚有集團(ZSY Group Ltd)位于英國倫敦。真尚有集團與歐美眾多*測量設備及傳感器廠家，合作開發(fā)、銷售精密測量儀器與傳感器。
可根據(jù)客戶需求，運用軟測量技術、RFID技術與無線傳感器網(wǎng)絡技術，研發(fā)中間軟件平臺，為客戶提供傳感器測量方案及系統(tǒng)。我們自主研發(fā)的測厚系統(tǒng)ZTMS08，基于通用計算機平臺，通過機構認證，Z高精度達1um，已廣泛應用于各領域。我們的自動化測試測量技術直接服務于國內(nèi)制造業(yè)、精密制造業(yè)、鐵路測量、公路測量、設備監(jiān)控、高校教學研究等領域；我們還可根據(jù)客戶需求，承接各類型在線測厚、船舶靠泊、平整度測量及測長控制等系統(tǒng)項目。
傳感器、激光位移傳感器、激光測厚儀、激光掃描儀、電渦流傳感器
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