RTS-9型雙電測四探針測試儀采用了四探針雙電測組合（亦稱雙位組合）測量新技術(shù),將范德堡測量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上,利用電流探針、電壓探針的變換，在計算機(jī)控制下進(jìn)行兩次電測量，能自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對測量結(jié)果的影響。因而每次測量不必知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置。由于每次測量都是對幾何因素的影響進(jìn)行動態(tài)的自動修正，因此顯著降低了幾何因素影響，從而提高了測量結(jié)果的準(zhǔn)確度。所有這些，用目前大量使用的常規(guī)四探針測量方法所生產(chǎn)的儀器是無法實現(xiàn)的。

RTS-9雙電測四探針軟件測試系統(tǒng)是一個運(yùn)行在計算機(jī)上擁有友好測試界面的用戶程序。測試程序在計算機(jī)與RTS-9型四探針測試儀連接的狀態(tài)下，通過計算機(jī)的并口實現(xiàn)通訊。
    測試程序控制四探針測試儀進(jìn)行測量并實時采集兩次組合模式下的測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計算機(jī)中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析

技　術(shù)　指　標(biāo) ：

測量范圍電阻率：10-4～105 Ω.cm（可擴(kuò)展）；  10-4~106
 方塊電阻：10-3～106 Ω/□（可擴(kuò)展）； 10-3~107
 電導(dǎo)率：10-5～104 s/cm；
 電阻：10-4～105 Ω；

可測晶片厚度               ≤3mm

可測晶片直徑               140mmX150mm（配S-2A型測試臺）；
 200mmX200mm（配S-2B型測試臺）；
 400mmX500mm（配S-2C型測試臺）；

恒流源                         電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)

數(shù)字電壓表                  量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　
分辨力：10μV；
輸入阻抗：>1000MΩ；
精度：±0.1% ；
顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、超量程自動顯示；

四探針探頭基本指標(biāo)    間距：1±0.01mm；
針間絕緣電阻：≥1000MΩ；
機(jī)械游移率：≤0.3%；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
探針壓力：5～16 牛頓（總力）；

四探針探頭應(yīng)用參數(shù)    （見探頭附帶的合格證）

模擬電阻測量相對誤差
（ 按JJG508-87進(jìn)行）    0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字

整機(jī)測量zui大相對誤差       （用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測試）≤±4%

整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度        ≤4%

計算機(jī)通訊接口           并口

標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境               溫度：23±2℃；
相對濕度：≤65%；
無高頻干擾；
無強(qiáng)光直射；

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