HORIBA STEC SEC-N112MGM 數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

HORIBA STEC SEC-N112MGM 是一款高精度數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器，專為半導(dǎo)體、光電、LED、燃料電池、功能玻璃、環(huán)境監(jiān)測(cè)等行業(yè)設(shè)計(jì)。它采用熱式傳感技術(shù)，提供快速響應(yīng)和高穩(wěn)定性的氣體流量控制，廣泛應(yīng)用于精密氣體流量調(diào)節(jié)和控制的要求。

該設(shè)備不僅具備快速響應(yīng)和高精度控制功能，還提供多種氣體類型和量程的靈活配置，能夠滿足制造工藝和環(huán)境監(jiān)測(cè)中的各種需求。無(wú)論在半導(dǎo)體制造、光電顯示，還是燃料電池研發(fā)中，SEC-N112MGM 都是優(yōu)秀的設(shè)備。

主要特點(diǎn)

• 高精度流量控制
  在設(shè)定流量大于 25% 滿量程時(shí)，精度可達(dá) ±1.0% 設(shè)定點(diǎn)；在設(shè)定流量小于等于 25% 滿量程時(shí)，精度可達(dá) ±0.25% 滿量程。

• 快速響應(yīng)時(shí)間
  響應(yīng)時(shí)間（T98）不超過(guò) 1 秒，確保流量控制的快速調(diào)節(jié)和穩(wěn)定性，適用于高要求的工作環(huán)境。

• 多氣體/多量程支持
  支持多種氣體類型和流量范圍，用戶可以根據(jù)實(shí)際需求靈活配置氣體流量控制器。

• 多種通信接口
  提供數(shù)字式 RS-485 F-NET 協(xié)議和模擬式 0～5VDC 輸出，方便與不同的自動(dòng)化控制系統(tǒng)進(jìn)行集成。

• 緊湊設(shè)計(jì)
  小巧的外形設(shè)計(jì)，適用于空間有限的安裝環(huán)境，方便在各類應(yīng)用場(chǎng)景中使用。

技術(shù)規(guī)格

• 型號(hào)：SEC-N112MGM

• 流量范圍：從 10 SCCM 到 1000 SLM（具體取決于配置）

• 氣體類型：支持氮?dú)?、氫氣、氧氣、氬氣、氨氣、氦氣、氯氣、氟氣等多種氣體

• 閥門類型：提供電磁閥和壓電陶瓷閥選項(xiàng)，適應(yīng)不同流量需求

• 接口類型：標(biāo)準(zhǔn)接口為 1/4 SWL 類型，適合常規(guī)安裝需求

• 工作壓力：適用于 0～500 kPa 的工作壓力范圍

• 工作溫度：適用于 5～50℃ 的環(huán)境溫度范圍，確保設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行

應(yīng)用領(lǐng)域

• 半導(dǎo)體制造
  精確控制氣體流量，滿足芯片制造過(guò)程中嚴(yán)格的流量調(diào)節(jié)需求。

• 光電顯示
  在液晶面板、OLED 顯示技術(shù)的制造過(guò)程中提供穩(wěn)定氣體供應(yīng)，確保生產(chǎn)過(guò)程的穩(wěn)定性。

• LED 生產(chǎn)
  提供氣體流量調(diào)節(jié)，保證 LED 制程中的氣體供應(yīng)精度，提升產(chǎn)品質(zhì)量。

• 燃料電池
  在燃料電池研發(fā)與生產(chǎn)中，通過(guò)精準(zhǔn)的流量控制提升效率和產(chǎn)品性能。

• 功能玻璃
  提供穩(wěn)定的氣體流量環(huán)境，廣泛應(yīng)用于功能玻璃的涂層和加工過(guò)程中。

• 環(huán)境監(jiān)測(cè)
  支持環(huán)境保護(hù)工作，通過(guò)精準(zhǔn)的氣體流量控制進(jìn)行環(huán)境氣體采樣和分析。