迷你型壓電平移臺(tái)
特點(diǎn):
壓電馬達(dá)驅(qū)動(dòng);
無回程間隙,內(nèi)具剎車功能;
納米級(jí)高分辨率及精度;
毫秒至亞毫秒級(jí)快響應(yīng)速度,速度可達(dá)300毫米/秒;
長(zhǎng)行程,理論上無行程限制;
超薄設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)緊湊;
無磁,無油,無電磁干擾,真空兼容;
廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備、微納加工、光電試驗(yàn)、生物醫(yī)療等領(lǐng)域。