主機(jī)儀器架# 一體式人體工學(xué)機(jī)臺# 直線導(dǎo)軌驅(qū)動器# 電動立柱# 數(shù)字傳感器# 水平調(diào)整系統(tǒng):外觀尺寸:250*180*40mm、調(diào)整范圍:15mm# 回轉(zhuǎn)及角度調(diào)試系統(tǒng):360度旋轉(zhuǎn)、±25角度傾斜# 平口裝夾系統(tǒng) Fixture:鉗口寬:50mm、鉗口深25mm# Φ3*21mm R0.025mm 單切面測針# Φ1*10mm R2μm 粗糙度測針# Φ8*150mm 測桿# 電器控制系統(tǒng)# 品牌電腦# HP噴墨打印機(jī)# 測量軟件# 使用說明書# 產(chǎn)品保修卡# 產(chǎn)品裝箱單# 合格證# 設(shè)備驗(yàn)收單# 工具箱
項(xiàng)目 | 參數(shù) | |
測量范圍 | X軸驅(qū)動器 | 100mm |
Z1(傳感器) 粗糙度和輪廓共用 | 40mm | |
立柱高度 | 450mm | |
測量精度 | X軸 (L=X軸移動導(dǎo)軌距離) | ±(0.8+0.002L)μm |
Z1軸 (H=Z1軸方向測量高度) | ±(0.6+0.005H)μm | |
殘值噪聲 | ≤0.005μm | |
示值誤差 | ±5% | |
示值穩(wěn)定性 | ≤±7% | |
重復(fù)性 | 1δ≤2nm | |
角度 | ≤±1′ | |
圓弧 (R=標(biāo)準(zhǔn)圓弧值) | ≤±(1.0+R/12)μm | |
X軸 | 直線度 | 0.6μm /100mm |
分辨率 | 0.05μm | |
產(chǎn)地 | 美國MicroE | |
傳感器 | 類型 | 光柵傳感器 |
分辨率 | 0.01μm | |
產(chǎn)地 | 美國MicroE | |
評定長度 | λc×3、4、5、6、7 | |
截止波長 | 0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm | |
爬坡角度 | 上升77°, 下降88° | |
測量速度 | 0.02mm至4.0mm/s | |
測量方式 | 傳感器移動 |