主機儀器架# 一體式人體工學(xué)機臺# 直線導(dǎo)軌驅(qū)動器# 電動立柱# 光柵傳感器# 水平調(diào)整系統(tǒng)(外觀尺寸:250*180*40mm;調(diào)整范圍:15mm)# 回轉(zhuǎn)及角度調(diào)試系統(tǒng)(360度旋轉(zhuǎn);±25角度傾斜)# 平口裝夾系統(tǒng) Fixture(鉗口寬:50mm;鉗口深25mm)# 測頭與測桿(Ф3*21mm R25μm 12°單切面測針;Ф1*10mm R2μm 60°粗糙度測針;Ф8*150mm 測桿)# 電器控制系統(tǒng)# 品牌電腦# HP噴墨打印機# 測量軟件# 使用說明書# 產(chǎn)品保修卡# 產(chǎn)品裝箱單# 合格證# 設(shè)備驗收單# 工具箱
項目 | 參數(shù) | ||
測量范圍 | X軸驅(qū)動器 | 200mm | |
| Z1(傳感器) 粗糙度和輪廓共用 | 60mm | |
| 立柱高度 | 500mm | |
指示精度 | X軸 (L=X軸移動導(dǎo)軌距離) | ±(0.8+0.01L)μm | |
| Z1軸 (H=Z1軸方向測量高度) | ±(0.8+0.01H)μm | |
| 殘值輪廓 | ≤0.005μm | |
| 示值誤差 | ≤±(5nm+0.1A) | |
| 示值穩(wěn)定性 | ≤±7% | |
| 重復(fù)性 | 1δ≤2nm | |
| 角度 | ≤±1′ | |
| 圓弧 (R=標(biāo)準(zhǔn)圓弧值) | ≤±(1.0+R/12)μm | |
X軸驅(qū)動器 | 直線度 | 1.8μm /200mm | |
| 分辨率 | 0.05μm | |
Z1傳感器 輪廓/粗糙度共用 | 類型 | 光柵傳感器 | |
| 分辨率 | 0.01μm | |
| 輪廓/粗糙度共用測針 | 25μm 12° | |
| 測針材質(zhì) | 硬質(zhì)合金 | |
| 粗糙度專用測針 | 2μm 60° | |
| 測針材質(zhì) | 金剛石 | |
評定長度 | λc×3、4、5、6、7 | ||
截止波長 | 0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm | ||
測量方式 | 傳感器移動 | ||
運動控制 | 導(dǎo)軌速度 | 0.02mm至6mm/s | |
| 立柱移動速度 | 0.1mm至10mm/s | |
| 測量速度 | 0.02mm至5.0mm/s |