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KMLabs極紫外超快光源XUUS主要參數(shù)
| Wavelength | Flux* | Repetition Rate | Pointing Stability | Power Stability |
|---|---|---|---|---|
| 30 nm | >5x1012 ph/sec per harmonic | 1 - 20 kHz | <5 µrad=""> | <5%> |
| 13 nm | >1010 ph/sec per harmonic | 1 - 10 kHz | <5 µrad=""> | <5%> |
| 6 nm | >106 ph/sec per 10% BW | 1 kHz | <10 µrad=""> | <10%> |
來自堅固耐用的工程 EUV 系統(tǒng)的
好消息：您不再需要將實驗室資源用于構建高諧波發(fā)生 （HHG） 系統(tǒng)。第五代KMLabs的XUUS™極紫外超快源是一個交鑰匙系統(tǒng)，可讓您直接進入實驗。XUUS 5是一種基于高諧波產(chǎn)生的相干EUV/軟X射線光源。它是一個工程化和集成的商業(yè)來源，基于一個強大的光機械平臺。
HHG如何運作？通過單擊此處了解HHG的物理原理。
XUUS 5將超快激光脈沖上變頻到光譜的紫外（EUV 或 XUV）或軟 X 射線區(qū)域。采用HHG工藝，輸出光束繼承了驅(qū)動激光器（如KMLabs RAEA）的相干特性，其波長可在~10至50 nm范圍內(nèi)調(diào)諧。此外，定制系統(tǒng)可以產(chǎn)生波長短至6nm的相干光束。XUUS 5采用KMLabs獲得的空心波導，用于高諧波上變頻過程。
XUUS空心光纖或波導架構使系統(tǒng)產(chǎn)生的諧波與其他HHG方法區(qū)分開來，保證您的諧波每次都來自空間中的同一點，從而限度地減少任何指向漂移。此架構可優(yōu)化實驗的可重復性。此外，使用光纖（而不是典型的氣體射流或半無限氣室目標幾何形狀）為相位匹配的HHG提供了出色的壓力可調(diào)性?，F(xiàn)在，您可以在不犧牲靈活性的情況下選擇穩(wěn)健性。
XUUS極紫外超快光源是基于高次諧波的相干EUV/軟X射線源，這是一套工程化和商業(yè)化的集成系統(tǒng)。這套系統(tǒng)使用了KMLabs的的空心波導技術來產(chǎn)生高次諧波，輸出光束是相干和類激光的。關于高次諧波（HHG）的產(chǎn)生，更多信息，請點擊“高次諧波產(chǎn)生”。KMLabs使用的空心波導技術，在波導中可以實現(xiàn)高次諧波的轉(zhuǎn)換，使用最少的氣體，獲得的穩(wěn)定性。對于的應用，EUV通量可能超過> 5×10 12 ph / sec
KMLabs極紫外超快光源XUUS應用：
- 光發(fā)射：TR-ARPES和阿托秒材料科學
- 納米電的計量和支持EUV光刻
- 高分辨率和時間分辨無透鏡納米成像
- 超快磁性材料和自旋電子學研究
- 磁性、材料、分子和納米系統(tǒng)動力學的高時空分辨率泵探針研究
- 分子動力學和化學
具有顯著優(yōu)勢的功能：
- 獲得的空心波導高諧波轉(zhuǎn)換，可實現(xiàn)轉(zhuǎn)換、穩(wěn)定性、可重復性和魯棒性。
- EUV 通量可超過 > 1×1012ph/sec 適用于要求的應用。
- 超穩(wěn)定、4軸主動穩(wěn)定光束，產(chǎn)生與可見紅外激光器相當?shù)腅UV光束強度和波前穩(wěn)定性。
- 高平均功率處理能力推動下一代實驗。
- 用于性能監(jiān)控和對準控制的診斷攝像機。
- 圖形化、直觀的軟件控制。
- 穩(wěn)定的工業(yè)光學安裝在溫度穩(wěn)定的平臺上。
- 不斷增長的特定應用光束線系列，為您的實驗量身定制光子。
- 高相干性，激光樣EUV（XUV）/ SXR。
- XUUS 系統(tǒng)配置可生成波長約為 6 nm 的軟 X 射線。
- 波導設計允許以最少的氣體使用量有效利用高壓氣體：比氣體噴射幾何形狀少1000倍，效率提高1000倍。
- XUUS輸出可以針對不同的應用進行優(yōu)化：ARPES，成像，瞬態(tài)吸收，MOKE，XMCD。
KMLabs極紫外超快光源XUUS特色應用：
KMLabs 的 XUUS 源可實現(xiàn)個亞波長 EUV 13.5 nm 成像
寬視場反射模式點陣成像顯微鏡，帶臺式 12.7 nm 高諧波照明
