產(chǎn)品簡介:
EDIS全自動測量工具顯微鏡是通元識微光電為專業(yè)客戶而設(shè)計的一款超高測量精度的產(chǎn)品。采用了國/內(nèi)外的顯微鏡影像系統(tǒng)、運動控制系統(tǒng)及精密的線性導軌及光柵尺,它可實現(xiàn)XYZ三軸全自動測量,并支持表面光源、輪廓光源及搖桿、電動鼻輪等各種附件。配備的VMA測量軟件,具有幾何測量、拍照、CNC編程、報表輸出等各種核心功能。它廣泛的應(yīng)用于電子元件,精密模具,精密刀具,彈簧,塑膠,橡膠,油封止閥,照相機零件.汽車零件.PCB加工等領(lǐng)域,特別適用于大型半導體晶圓、液晶面板、太陽能基板、大型PCB等行業(yè),實現(xiàn)對產(chǎn)品的拍照、觀察、測量等品控要求。
儀器特點:
◆ XYZ三軸CNC控制,全自動測量;
◆ 三軸精密線性滑軌、精密傳動系統(tǒng);
◆ 可程控表面光源,LED輪廓光源;
◆ 自動對焦,支持電動鼻輪;
◆ VMA全自動影像測量軟件;
◆ VMZ全功能影像測量軟件;
◆ 多種測量行程規(guī)格配置。
技術(shù)參數(shù):
型號 | EDIS2010P | EDIS3020P | EDIS4030P | EDIS5040P | |
行程(L×B×H,mm) | 200×100×200 | 300×200×200 | 400×300×200 | 500×400×200 | |
結(jié)構(gòu) | 花崗巖臺式 | ||||
外部尺寸(L×B×Hmm) | 600×500×1700 | 700×600×1700 | 970×970×1700 | 1070×1100×1700 | |
整機重量(kg) | 250 | 300 | 400 | 500 | |
承重(kg) | 30 | ||||
測量精度 | XY軸 | E2=(2.0+L/200)µm | |||
Z軸* | E1=(5.0+L/200)µm | ||||
速度 | XY軸 | 15m/min | |||
Z軸 | 5m/min | ||||
光柵尺 | 標配:Taiwan Rational 0.001mm分辨率 選配:英國Renishaw 0.001分辨率 | ||||
傳動方式 | Taiwan TBI XYZ軸精密級滾珠絲杠 | ||||
導軌 | Taiwan Hiwin精密級導軌 | ||||
CCD | SONY 1/3” CCD | ||||
光源 | 輪廓光 | China EDIS LED冷光源,256級亮度可調(diào) | |||
表面光 | 顯微鏡同軸光源,256級亮度可調(diào) | ||||
光學系統(tǒng) | 標配:China ICM-100 多鏡頭金相顯微鏡(1X/5X/10X/20X) 選配:Japan NIKON 多鏡頭金相顯微鏡(1X/5X/10X/20X) | ||||
軟件 | 標配:EDIS VMA3.00 | ||||
運動控制 | Tiger 直流伺服CNC系統(tǒng) + ADS運控卡+霍爾3維工業(yè)搖桿 | ||||
儀器桌 | EDIS | ||||
計算機 | 研祥(China EVOC)IPC610(研祥 | ||||
保修期 | 1年 | ||||
工作環(huán)境 | 溫度20℃±2℃,濕度30~80% | ||||
振動<0.002g,低于15Hz | |||||
電源 | 220V/50Hz/10A |