產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
EDIS全自動(dòng)測(cè)量工具顯微鏡是通元識(shí)微光電為專(zhuān)業(yè)客戶(hù)而設(shè)計(jì)的一款超高測(cè)量精度的產(chǎn)品。采用了國(guó)/內(nèi)外的顯微鏡影像系統(tǒng)、運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)及精密的線性導(dǎo)軌及光柵尺,它可實(shí)現(xiàn)XYZ三軸全自動(dòng)測(cè)量,并支持表面光源、輪廓光源及搖桿、電動(dòng)鼻輪等各種附件。配備的VMA測(cè)量軟件,具有幾何測(cè)量、拍照、CNC編程、報(bào)表輸出等各種核心功能。它廣泛的應(yīng)用于電子元件,精密模具,精密刀具,彈簧,塑膠,橡膠,油封止閥,照相機(jī)零件.汽車(chē)零件.PCB加工等領(lǐng)域,特別適用于大型半導(dǎo)體晶圓、液晶面板、太陽(yáng)能基板、大型PCB等行業(yè),實(shí)現(xiàn)對(duì)產(chǎn)品的拍照、觀察、測(cè)量等品控要求。
儀器特點(diǎn):
◆ XYZ三軸CNC控制,全自動(dòng)測(cè)量;
◆ 三軸精密線性滑軌、精密傳動(dòng)系統(tǒng);
◆ 可程控表面光源,LED輪廓光源;
◆ 自動(dòng)對(duì)焦,支持電動(dòng)鼻輪;
◆ VMA全自動(dòng)影像測(cè)量軟件;
◆ VMZ全功能影像測(cè)量軟件;
◆ 多種測(cè)量行程規(guī)格配置。
技術(shù)參數(shù):
型號(hào) | EDIS6050P | EDIS7060P | EDIS10080P | |||||
行程(L×B×H,mm) | 600×500×200 | 700×600×200 | 1000×800×200 | |||||
結(jié)構(gòu) | 花崗巖龍門(mén)式 | |||||||
外部尺寸(L×B×Hmm) | 1200×1600×1900 | 1300×1700×1900 | 1800×1800×1900 | |||||
整機(jī)重量(kg) | 1800 | 2000 | 2500 | |||||
承重(kg) | 40 | |||||||
測(cè)量精度 | XY軸 | E2=(3+L/200)µm | ||||||
Z軸* | E1=(5.0+L/200)µm | |||||||
速度 | XY軸 | 15mmin | ||||||
Z軸 | 5mmin | |||||||
光柵尺 | 標(biāo)配:Taiwan Rational 0.001mm分辨率 選配:英國(guó)Renishaw 0.001分辨率 | |||||||
傳動(dòng)方式 | Taiwan TBI XYZ軸精密級(jí)滾珠絲杠 | |||||||
導(dǎo)軌 | Taiwan Hiwin精密級(jí)導(dǎo)軌 | |||||||
CCD | SONY 1/3” CCD | |||||||
光源 | 輪廓光 | China EDIS LED冷光源,256級(jí)亮度可調(diào) | ||||||
表面光 | 顯微鏡同軸光源,256級(jí)亮度可調(diào) | |||||||
光學(xué)系統(tǒng) | 標(biāo)配:China ICM-100 多鏡頭金相顯微鏡(1X/5X/10X/20X) | |||||||
軟件 | 標(biāo)配:EDIS VMA3.00 | |||||||
運(yùn)動(dòng)控制 | Japan Panasonic J系交流CNC 系統(tǒng) + ADS運(yùn)控卡+霍爾3維工業(yè)搖桿 | |||||||
儀器桌 | EDIS | |||||||
計(jì)算機(jī) | 研祥(China EVOC)IPC610(研祥 | |||||||
保修期 | 1年 | |||||||
工作環(huán)境 | 溫度20℃±2℃,濕度30~80% | |||||||
振動(dòng)<0.002g,低于15Hz | ||||||||
電源 | 220V/50Hz/10A |