光強均勻、頻譜穩(wěn)定
美能Poly5000在線膜厚測試儀采用鎢鹵素?zé)?,有效光譜范圍320nm~2400nm,發(fā)射出連續(xù)光譜,涵蓋了從紫外線到紅外線的所有光波段。一臺機器覆蓋多臺機器的測量范圍,保證測試結(jié)果的準(zhǔn)確性。
毫秒級別采樣速度
美能Poly5000光譜儀專門針對光伏應(yīng)用客戶設(shè)計并開發(fā),光譜范圍300~1100nm,光斑70μm,適用光伏行業(yè)的測試環(huán)境及條件。配合美能的光譜擬合法,最終擬合獲得薄膜厚度和光學(xué)常數(shù),實現(xiàn)超廣測量范圍20nm~2000nm和0.5nm的超高重復(fù)性精度。
全新智能地操作體驗
美能Smart Poly操作軟件,快速、智能且易于使用。使用直觀且用戶友好的獨立PC程序無需用戶自己編寫任何代碼即可快速表征材料。操作軟件確保準(zhǔn)確的結(jié)果,以便對材料進行廣泛的電氣表征。
Poly膜厚在線監(jiān)控
?99%Poly-si沉積工藝監(jiān)控,提高產(chǎn)品良率
?非接觸、無損測量,零碎片率,保證生產(chǎn)效率
?提高產(chǎn)線自動化生產(chǎn)水平,機器自動測試代替人工離線測試,節(jié)約人力成本
?測試速度快,單片測試時間<0.5s
?膜厚重復(fù)性測量精度:<0.5nm(100次連續(xù)測試)