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      產(chǎn)品|公司|采購|資訊

      美能探針式臺階儀SP200

      參考價面議
      具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      • 公司名稱美能光伏科技(江蘇)有限公司
      • 品       牌
      • 型       號
      • 所  在  地蘇州市
      • 廠商性質(zhì)其他
      • 更新時間2024/5/7 12:41:31
      • 訪問次數(shù)114
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      在美能光伏,我們涵蓋太陽能光伏的整個產(chǎn)業(yè)鏈:從機理研究到組件以及發(fā)電廠的質(zhì)量保證。我們的研發(fā)范圍旨在與行業(yè)合作,促進(jìn)在市場上推出新的創(chuàng)新產(chǎn)品。我們的目標(biāo)是降低制造成本并支持中國光伏產(chǎn)業(yè)參與國際競爭。
      霍爾效應(yīng)測試儀
      表面微觀特征是材料、化學(xué)、精密制造等領(lǐng)域的主要研究內(nèi)容,準(zhǔn)確地評價表面微觀形貌、表面特征等,對于相關(guān)材料的評定、性能的分析和加工工藝的改善都具有重要意義。在半導(dǎo)體、光伏、LED、MEMS器件、材料等領(lǐng)域,表面臺階高度、膜厚的準(zhǔn)確測量具有十分重要的價值,尤其是臺階高度是一個重要的參數(shù),對各種薄膜臺階參數(shù)的精確、快速測定和控制,是保證材料質(zhì)量、提高生產(chǎn)效率的重要手段。
      美能探針式臺階儀SP200 產(chǎn)品信息

      出色的重復(fù)性和再現(xiàn)性

      (1)單拱龍門式設(shè)計,結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性優(yōu)異,大大降低了周圍環(huán)境中聲音和震動噪音對測量信號的影響,提高了測量精度。;
      (2)線性可變差動電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13um 量程下可達(dá)0.01 埃。高信噪比和低線性誤差,使得產(chǎn)品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。;

      超微力恒力傳感器:1-50mg可調(diào)

      的傳感器設(shè)計使得在單一平臺上即可實現(xiàn)超微力和正常力測量。測力恒定可調(diào),以適應(yīng)硬質(zhì)或軟質(zhì)材料表面。超低慣量設(shè)計和微小電磁力控制,實現(xiàn)無接觸損傷的精準(zhǔn)接觸式測量。

      超平掃描平臺

      系統(tǒng)配有超高直線度導(dǎo)軌,杜絕運動中的細(xì)微抖動,提高掃描精度,真實反映工件微小形貌。

      全自動XY載物臺,Z軸自動升降、360°全自動θ轉(zhuǎn)臺

      精密的XY平臺結(jié)合360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)電動旋轉(zhuǎn)臺,可以對樣品的位置以及角度進(jìn)行調(diào)節(jié),三維位置均可以調(diào)節(jié),利于樣品調(diào)整,提高測量效率。

      項目 內(nèi)容
      技術(shù)測量 探針式表面輪廓測量技術(shù)
      樣品觀測 光學(xué)導(dǎo)航攝像頭:500萬像素高分辨率彩色攝像機,F(xiàn)oV,1700*1400μm
      探針傳感器 超低慣量,LVDC傳感器
      測量力 0.5-50mg可調(diào)
      探針選型 探針曲率半徑2μm,夾角60°
      Z軸測量重復(fù)性 <0.5%
      在環(huán)境溫度20 ±2 °C下用50X物鏡測量4.7um標(biāo)準(zhǔn)臺階樣塊
      平臺移動范圍X/Y 電動X/Y(100mm*100mm)(可手動校平)
      樣品R-θ載物臺 電動,360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)
      單次掃描長度 55mm
      樣品厚度 50mm
      載物臺晶圓尺寸 150mm(6時),200mm(8時)
      臺階高度重復(fù)性 <1nm(測量1μm臺階高度,1δ)
      傳感器量程 330μm
      垂直分辨力 分辨力<0.25 ?(量程為13um時)
      掃描速度 2μm/s-10mm/s
      儀器電源 100-240 VAC,50/60 Hz
      使用環(huán)境 相對濕度:濕度(無凝結(jié))30-40% RH
      溫度:16-25℃ (每小時溫度變化小于2℃)
      地面振動:6.35μm/s(1-100Hz)
      音頻噪音:≤80dB
      空氣層流:≤0.508 m/s(向下流動)
      尺寸和重量 長×寬×高: 640*626*534(mm)
      儀器總重量:<>
      關(guān)鍵詞:力測量 彩色攝像機
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