出色的重復(fù)性和再現(xiàn)性
(1)單拱龍門式設(shè)計,結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性優(yōu)異,大大降低了周圍環(huán)境中聲音和震動噪音對測量信號的影響,提高了測量精度。;
(2)線性可變差動電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13um 量程下可達(dá)0.01 埃。高信噪比和低線性誤差,使得產(chǎn)品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。;
超微力恒力傳感器:1-50mg可調(diào)
的傳感器設(shè)計使得在單一平臺上即可實現(xiàn)超微力和正常力測量。測力恒定可調(diào),以適應(yīng)硬質(zhì)或軟質(zhì)材料表面。超低慣量設(shè)計和微小電磁力控制,實現(xiàn)無接觸損傷的精準(zhǔn)接觸式測量。
超平掃描平臺
系統(tǒng)配有超高直線度導(dǎo)軌,杜絕運動中的細(xì)微抖動,提高掃描精度,真實反映工件微小形貌。
全自動XY載物臺,Z軸自動升降、360°全自動θ轉(zhuǎn)臺
精密的XY平臺結(jié)合360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)電動旋轉(zhuǎn)臺,可以對樣品的位置以及角度進(jìn)行調(diào)節(jié),三維位置均可以調(diào)節(jié),利于樣品調(diào)整,提高測量效率。
項目 | 內(nèi)容 |
---|---|
技術(shù)測量 | 探針式表面輪廓測量技術(shù) |
樣品觀測 | 光學(xué)導(dǎo)航攝像頭:500萬像素高分辨率彩色攝像機,F(xiàn)oV,1700*1400μm |
探針傳感器 | 超低慣量,LVDC傳感器 |
測量力 | 0.5-50mg可調(diào) |
探針選型 | 探針曲率半徑2μm,夾角60° |
Z軸測量重復(fù)性 | <0.5% 在環(huán)境溫度20 ±2 °C下用50X物鏡測量4.7um標(biāo)準(zhǔn)臺階樣塊 |
平臺移動范圍X/Y | 電動X/Y(100mm*100mm)(可手動校平) |
樣品R-θ載物臺 | 電動,360°連續(xù)旋轉(zhuǎn) |
單次掃描長度 | 55mm |
樣品厚度 | 50mm |
載物臺晶圓尺寸 | 150mm(6時),200mm(8時) |
臺階高度重復(fù)性 | <1nm(測量1μm臺階高度,1δ) |
傳感器量程 | 330μm |
垂直分辨力 | 分辨力<0.25 ?(量程為13um時) |
掃描速度 | 2μm/s-10mm/s |
儀器電源 | 100-240 VAC,50/60 Hz |
使用環(huán)境 | 相對濕度:濕度(無凝結(jié))30-40% RH 溫度:16-25℃ (每小時溫度變化小于2℃) 地面振動:6.35μm/s(1-100Hz) 音頻噪音:≤80dB 空氣層流:≤0.508 m/s(向下流動) |
尺寸和重量 | 長×寬×高: 640*626*534(mm) 儀器總重量:<> |