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系統(tǒng)簡介-傳統(tǒng)雙頻激光干涉儀

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱上海拍頻光電科技有限公司
品牌
型號
所在地上海市
廠商性質(zhì)其他
更新時間2024/4/9 17:41:28
訪問次數(shù)157

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公司介紹主營產(chǎn)品

上海拍頻光電科技有限公司長期專注于雙頻激光干涉測量技術(shù)研究及其產(chǎn)品開發(fā)，所涉及的雙頻激光器、雙頻干涉儀、信號處理卡、光纖耦合器等部件均自主研發(fā)。產(chǎn)品主要服務(wù)于半導(dǎo)體裝備、超精密運動控制、長度計量、精密機床校準(zhǔn)、振動、速度、加速度測試等領(lǐng)域。我們的核心團隊由光學(xué)、機械、電子、銷售等專業(yè)人員組成，均具有十多年雙頻激光干涉儀產(chǎn)品開發(fā)及其應(yīng)用經(jīng)驗，是國內(nèi)工程經(jīng)驗的雙頻激光干涉儀團隊之一。SPOE為用戶提供超精密位移檢測系統(tǒng)方案設(shè)計和產(chǎn)品定制服務(wù)，具備各種關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)測試能力，擁有面型干涉儀、平行度檢測平臺、熱漂移檢測平臺、非線性誤差測試平臺、轉(zhuǎn)角行程測試平臺等。

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激光測量儀

產(chǎn)品簡介在線詢價

一、簡介傳統(tǒng)雙頻激光干涉儀（TraditionalDual-frequencyLaserInterferometerseries，TDI）采用傳統(tǒng)的空間光傳輸，分辨率可達0.077nm，它具有*的測量性能以及實時閉環(huán)反饋功能，主要應(yīng)用于亞納米精密測量領(lǐng)域

系統(tǒng)簡介-傳統(tǒng)雙頻激光干涉儀產(chǎn)品信息

一、簡介

傳統(tǒng)雙頻激光干涉儀（Traditional Dual-frequency Laser Interferometer series，TDI）采用傳統(tǒng)的空間光傳輸，分辨率可達0.077nm，它具有*的測量性能以及實時閉環(huán)反饋功能，主要應(yīng)用于亞納米精密測量領(lǐng)域。

上海拍頻光電科技有限公司自主開發(fā)的傳統(tǒng)雙頻激光干涉儀系統(tǒng)，主要特點如下：

?支持位移、速度、角度測量

?采用平鏡干涉儀測量，達到4倍光學(xué)細分

?具有高數(shù)據(jù)采樣率，支持位移和速度的實時閉環(huán)反饋

?采用雙頻干涉技術(shù)，抗力強，易進行多軸擴展，測量結(jié)果噪聲低

?單塊數(shù)字信號處理器支持相互獨立的6軸同時測量，并支持多處理器級聯(lián)

二、系統(tǒng)構(gòu)成

傳統(tǒng)雙頻激光干涉儀的主要架構(gòu)如下圖所示。

傳統(tǒng)雙頻激光干涉儀主要由雙頻激光器、激光器可調(diào)底座、導(dǎo)光元件、導(dǎo)光元件可調(diào)底座、光纖耦合器、光纖、信號處理卡等部件組成。

三、性能參數(shù)

上海拍頻光電科技有限公司研發(fā)的傳統(tǒng)雙頻激光干涉儀，主要系統(tǒng)參數(shù)如下表：

指標(biāo)名稱	參數(shù)
測量分辨率（Resolution）	0.077nm @ 4 optical division
測量范圍（Range）	20m
采樣速率（Sampling rate）	10MHz
通訊接口（Interface）	VME / ABZ / RS485 / 網(wǎng)口