光學(xué)干涉儀鏡組將參考光束和測量光束在空間上分離,測量光束經(jīng)過被測反射鏡的反射后,返回干涉儀與參考光束發(fā)生干涉,被測鏡的位移信號被調(diào)制成干涉信號。
上海拍頻光電科技有限公司針對多種不同的應(yīng)用場合,開發(fā)出了多種類型的干涉儀鏡組。
主要型號和參數(shù)如下表:
名稱 | 型號 | 非線性誤差 | 光學(xué)細(xì)分 | 光學(xué)效率 | 工作軸數(shù) | 工作波長 | 備注 |
單光束干涉儀 | CIF0102-S | <4.2nm | λ/2 | >60% | 1 | 633nm | 后入光,體積小 |
單軸角錐干涉儀 | CIF0102 | <4.2nm | λ/2 | >60% | 1 | 633nm | 后入光 |
單軸差分干涉儀 | CDIF0102 | <4.2nm | λ/2 | >60% | 1 | 633nm | 后入光 |
PDIF0104 | <2.2nm | λ/4 | >50% | 1 | 633nm | 后入光 | |
單軸平鏡干涉儀 | PIF0104T | <2.2nm | λ/4 | >50% | 1 | 633nm | 后入光 |
PIF0104R | <2.2nm | λ/4 | >50% | 1 | 633nm | 右入光* | |
PIF0104L | <2.2nm | λ/4 | >50% | 1 | 633nm | 左入光* | |
單軸探針干涉儀 | TIF0102 | <4.2nm | λ/2 | >50% | 1 | 633nm | 后入光 |
雙軸角錐干涉儀 | CIF0102 | <2.2nm | λ/2 | >20% | 2 | 633nm | 后入光 |
雙軸平鏡干涉儀 | PIF0204T | <2.2nm | λ/4 | >20% | 2 | 633nm | 后入光 |
PIF0204R | <2.2nm | λ/4 | >20% | 2 | 633nm | 右入光 | |
PIF0204L | <2.2nm | λ/4 | >20% | 2 | 633nm | 左入光 | |
雙軸差分干涉儀 | CDIF0202 | <4.2nm | λ/2 | >20% | 2 | 633nm | 后入光 |
PDIF0204 | <2.2nm | λ/4 | >20% | 2 | 633nm | 后入光 | |
三軸角錐干涉儀 | CIF0302T | <4.2nm | λ/2 | >12% | 3 | 633nm | 后入光 |
CIF0302R | <4.2nm | λ/2 | >12% | 3 | 633nm | 右入光 | |
CIF0302L | <4.2nm | λ/2 | >12% | 3 | 633nm | 左入光 | |
三軸平鏡干涉儀 | PIF0304T | <2.2nm | λ/4 | >12% | 3 | 633nm | 后入光 |
PIF0304R | <2.2nm | λ/4 | >12% | 3 | 633nm | 右入光 | |
PIF0304L | <2.2nm | λ/4 | >12% | 3 | 633nm | 左入光 | |
四軸平鏡干涉儀 | PIF0404T | <2.2nm | λ/4 | >8% | 4 | 633nm | 后入光 |
PIF0404R | <2.2nm | λ/4 | >8% | 4 | 633nm | 右入光 | |
PIF0404L | <2.2nm | λ/4 | >8% | 4 | 633nm | 左入光 | |
五軸平鏡干涉儀 | PIF0504T | <2.2nm | λ/4 | >7% | 5 | 633nm | 后入光 |
PIF0504R | <2.2nm | λ/4 | >7% | 5 | 633nm | 右入光 | |
PIF0504L | <2.2nm | λ/4 | >7% | 5 | 633nm | 左入光 |
備注:右入光是指正對著干涉儀的出光面,入光在右手側(cè)
左入光是指正對著干涉儀的出光面,入光在左手側(cè)
特殊要求可接受定制
部分干涉儀模型如下圖:
單光束干涉儀及其被測角錐鏡 單軸平鏡干涉儀(后入光) 雙軸平鏡干涉儀(后入光)
三軸平鏡干涉儀(左入光) 四軸平鏡干涉儀(右入光) 五軸平鏡干涉儀(右入光)