精細準確的探針座微定位功能
1. 精細螺紋加工技術,螺紋牙距80TPI/100TPI/200TPI/300TPI,對應的定位精度分別為1.4微米/0.7微米/0.35微米/0.25微米;
螺紋牙距指的是相鄰兩牙在中徑線上對應兩點間的軸向距離。用TPI=Thread Per Inch即每英寸(25.4mm)有多少個螺牙來表示。
例如:100TPI代表的位移精度=25.4mm/100/360°=0.0007mm=0.7μm;
2. 線性V型軌道設計,從頭到尾、由正向反順暢一致的行程,無蛇形、無回差準確地“定點降落”到測試點;
3. 精密裝配技術,數(shù)月、數(shù)年的反復使用,無崩牙,極低故障率。
HMP-200規(guī)格:
· 重量 1200克
· 精度 0.35μm
· 牙距 200螺紋/英寸
· X-Y-Z線性移動范圍 12mmX12mmX12mm
· 特點:無回差線性移動,可靠性非常好
· 吸附類型:磁性可開關型吸附底座
· 三同軸(Triaxial)探針夾具
· 適用于測量微弱電流<>
HT-100規(guī)格:
· 重量 1000克
· 精度 0.7μm
· 牙距 200螺紋/英寸
· X-Y-Z線性移動范圍 12mmX12mmX12mm
· 特點:無回差線性移動,可靠性好
· 吸附類型:磁性可開關型吸附底座
· 三同軸(Triaxial)探針夾具
· 適用于測量微弱電流<>
HMP-80D 規(guī)格:
· 重量 500克
· 精度 1μm
· 牙距 80螺紋/英寸
· X-Y-Z線性移動范圍 12mmX12mmX12mm
· 特點:無回差線性移動,可靠性好
· 吸附類型:磁性可開關型吸附底座
· 三同軸(Triaxial)探針夾具,弱電流測量精度<>
· 同軸(Coaxial)探針夾具,弱電流測量精度<>。