直流探針

開爾文探針

開爾文探針規(guī)格和應用特點：

l 探針做熱補充處理，防止變溫實驗時探針產(chǎn)生位移離開樣品接觸點

l 雙SSMC接頭，同軸Kelvin開爾文設計

l 兩組探針可實現(xiàn)四線法連接，進行IV/CV/Pulse IV測量

l 可替換針尖，常用針尖半徑有1.5 / 5.0 / 10.0 μm

l 直流小信號測量電流精度<>

l LCR測試<>

l 時序信號完整性測試

l 脈沖激發(fā)/測量，脈沖小信號測量時間精度10ns

開爾文同軸探針工作原理示意圖：

上圖紅色方框內(nèi)為本次所說明的探針夾具，下圖為放大后的連線使用

詳解圖：

開爾文同軸探針與泰克4200A-SCS半導體參數(shù)測試儀連接實測的漏電流數(shù)據(jù)圖如下：

射頻高阻有源同軸探針

多用途高速無源同軸探針

微波無源同軸探針

波導同軸探針

微波差分同軸探針

微波&直流混合探針卡

微波&射頻校準片

探測光纖

探測光纖規(guī)格：

真空陶瓷探針

真空陶瓷探針規(guī)格和應用特點：

l 探針為陶瓷襯底的同軸設計，分為內(nèi)層芯體和外層Guard保護層。

l 探針的Guard保護層與探針臺內(nèi)部的同軸電纜線的外層屏蔽線連接，同軸電纜再與探針臺外部的三同軸接口連接，實現(xiàn)從探針臺外部接口到探針之間電信號的全程Guard保護性傳輸。

l 配合半導體分析儀或高精度源表測試微小漏電流小于100 fA。

l 探針熱沉到樣品臺，減小探針和樣品臺的溫差。

l 針尖直徑有5.0μm / 10.0μm。

l 陶瓷探針與泰克4200A-SCS半導體參數(shù)測試儀連接實測的漏電流數(shù)據(jù)圖如下：