性能優(yōu)勢 Performance Advantages

· 無油氣污染工藝設(shè)備，可獲得清潔零件表面；

· 被抽氣體不會被污染，為期可進行回收利用；

· 無油氣、油煙等有害氣體排放，有利于環(huán)境保護；

· 避免因泵腔內(nèi)潤滑油乳化、變質(zhì)而出現(xiàn)的運行故障，提高了系統(tǒng)的穩(wěn)定性；

· 可單獨使用，進氣壓力在1Pa至大氣壓下均能正常工作，抽氣效率高，可大幅度簡化真空系統(tǒng)；

· 機組可作為前級泵使用，與羅茨泵、分子泵等組合成多級無油真空機組，以獲得更大與更高的真空度；

· 轉(zhuǎn)子間無接觸、無磨損，零件損耗小，使用壽命長；

· 泵腔內(nèi)采用間隙密封，對少量粉塵不敏感；

· 智能控制模式，實時監(jiān)測設(shè)備運行狀態(tài)，并針對異常情況做出報警；

· 模塊化設(shè)計，整機體積小，方便移動；

· 可變頻運行，節(jié)能效果好；

· 采用一體化水冷電機設(shè)計，運行噪音低，震動小；

機組內(nèi)容  Unit Content

參數(shù)列表：

☆  鍍膜                                                                                                                  ☆  科研院所

☆  新能源                                                                                                              ☆  半導(dǎo)體