測(cè)量MEMS系統(tǒng)的3D動(dòng)態(tài)特性及形貌特性
表面形貌、動(dòng)態(tài)特性分析及可視化是顯微結(jié)構(gòu)(如MEMS器件)進(jìn)行測(cè)試和開發(fā)的關(guān)鍵。這對(duì)于驗(yàn)證有限元算法、確定串?dāng)_影響和測(cè)量表面形變等都至關(guān)重要
亮點(diǎn)
- 專用于顯微結(jié)構(gòu)的一體化光學(xué)測(cè)量工作站
- 真正的實(shí)時(shí)測(cè)量(無需數(shù)據(jù)后處理)
- 亞pm級(jí)的位移分辨率
- 快速測(cè)量,振型可視化
- 操作簡(jiǎn)便、直觀
- 自動(dòng)化測(cè)試系統(tǒng),易于集成至探針臺(tái)
- Import / export options for FE model validation
基于MEMS系統(tǒng)的一體化光學(xué)測(cè)量解決方案
基于MEMS系統(tǒng)的MSA-600顯微式激光測(cè)振儀,集多種測(cè)量功能于一體,其不僅能測(cè)量面內(nèi)振動(dòng)和面外振動(dòng),還能測(cè)量表面形貌。系統(tǒng)具有的靈活性和精度,以滿足顯微結(jié)構(gòu)未來的發(fā)展需要。顯微式激光測(cè)振儀可提供精確的三維動(dòng)態(tài)和靜態(tài)響應(yīng)數(shù)據(jù),在降低開發(fā)和制造成本的同時(shí)提高產(chǎn)品性能,從而縮短設(shè)計(jì)周期,簡(jiǎn)化故障處理,提高產(chǎn)品產(chǎn)量。
高性能激光多普勒測(cè)振儀能快速進(jìn)行實(shí)時(shí)測(cè)量,位移分辨率達(dá)亞pm級(jí)。白光干涉儀可以在幾秒鐘內(nèi)提供數(shù)以百萬計(jì)的三維表面形貌數(shù)據(jù)。MSA-600的用戶界面直觀,操作簡(jiǎn)便,是一款用于研究、開發(fā)和質(zhì)量控制的功能強(qiáng)大的光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)。系統(tǒng)易于集成至常見的商用探針臺(tái)上,從MEMS原型設(shè)計(jì)到測(cè)試和故障排除,其能在各個(gè)開發(fā)階段給您提供幫助,從而降低生產(chǎn)成本并縮短產(chǎn)品上市時(shí)間。